9月2日消息,国家知识产权局信息显示,鼎龙(潜江)新材料有限公司、湖北鼎汇微电子材料有限公司、湖北鼎龙控股股份有限公司申请一项名为“光致抗蚀剂的旋涂方法,光致抗蚀剂固化膜,旋涂装置及旋涂系统”的专利。申请公布号为CN122672268A,申请号为CN202610893790.3,申请公布日期为2026年9月1日,申请日期为2026年6月22日,发明人贺驰、喻刚、丁炜、王鹏、游凯、饶鑫、高越,分类号G03F7/16。
专利摘要显示,本发明涉及一种光致抗蚀剂的旋涂方法,包含:将待旋涂晶圆置于晶圆台面之上;喷涂步骤,控制晶圆台面以第一旋转速度,使用喷射装置以第一喷射时间喷射光致抗蚀剂至晶圆表面;所述第一旋转速度介于800rpm~1600rpm之间,所述第一喷胶时间介于1~3s;通过控制喷胶工艺,可以在低粘度的光致抗蚀剂条件下,获得厚度较低的光致抗蚀剂薄膜,并且实现了固化后的光致抗蚀剂薄膜具有较高的片内膜面均一性,较低的片内膜厚波动。
天眼查数据显示,鼎龙(潜江)新材料有限公司成立日期2022年11月10日,法定代表人刘敏,所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业,企业规模为小型,注册资本14250万人民币,实缴资本14250万人民币,注册地址为潜江市王场镇江汉盐化工业园长飞大道1号。鼎龙(潜江)新材料有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息0条,专利信息25条,拥有行政许可17个。
鼎龙(潜江)新材料有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 光致抗蚀剂的旋涂方法,光致抗蚀剂固化膜,旋涂装置及旋涂系统 | 发明专利 | 公布 | CN202610893790.3 | 2026-06-22 | CN122672268A | 2026-09-01 | 贺驰、喻刚、丁炜、王鹏、游凯、饶鑫、高越 |
| 2 | 聚合物基产酸剂、抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610869037.0 | 2026-06-16 | CN122520865A | 2026-08-07 | 姚昕迪、汤舒嵋、刘子豪、丁炜、王鹏、刘敏 |
| 3 | 用于KrF抗蚀剂组合物中的树脂及其制备方法、抗蚀剂组合物 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511962144.X | 2025-12-24 | CN121717938A | 2026-03-24 | 肖磊、袁俊杰、游怀、陈相见、杨旻朗、胡昊文 |
| 4 | 抗蚀剂组合物、光产酸剂的制备方法及图案形成方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511747023.3 | 2025-11-26 | CN121364599A | 2026-01-20 | 罗祖获、丁炜、朱胜强、成凯、刘子豪 |
| 5 | 一种负性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、公布 | CN202511325141.5 | 2025-09-17 | CN120972454A | 2025-11-18 | 解德升、夏元玲、刘敏 |
| 6 | 光致产酸剂、抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、授权 | CN202511246222.6 | 2025-09-02 | CN120757484B | 2025-11-25 | 徐枫、苏敏光、王鹏、刘敏 |
| 7 | 一种含氟树脂粉末、包含其的光致抗蚀剂组合物及其制备方法和应用 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、授权 | CN202511205103.6 | 2025-08-27 | CN120704062B | 2025-12-09 | 张公平、苏敏光、游怀、陈相见、刘敏 |
| 8 | 化合物、聚合物、光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202511207207.0 | 2025-08-27 | CN121135616A | 2025-12-16 | 成凯、夏元玲、王鹏、刘敏 |
| 9 | 含氟树脂、抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202511205497.5 | 2025-08-27 | CN121135944A | 2025-12-16 | 王先进、万海星、李兆明 |
| 10 | 酸扩散控制剂、抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202511207432.4 | 2025-08-27 | CN121159439A | 2025-12-19 | 王鹏、夏元玲、成凯、刘敏 |
| 11 | 锍盐化合物、抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202510664964.4 | 2025-05-22 | CN120554265A | 2025-08-29 | 万海星、李兆明、苏敏光、汤舒嵋 |
| 12 | 鎓盐类化合物,光致产酸剂、光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202411959825.6 | 2024-12-30 | CN119775174A | 2025-04-08 | 成凯、欧阳吉虹、王鹏、张季平、刘敏 |
| 13 | UV吸收化合物、包含其的光致抗蚀剂组合物 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202411958684.6 | 2024-12-27 | CN119775113A | 2025-04-08 | 丁炜、刘敏、陆康、罗祖获、朱胜强、贺驰、甄臻 |
| 14 | 鎓盐类化合物,光致产酸剂、光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 授权 | CN202411908274.0 | 2024-12-24 | CN119751407B | 2026-03-31 | 王鹏、欧阳吉虹、高越、刘敏 |
| 15 | 一种光致抗蚀剂组合物及其图案形成方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202411898423.X | 2024-12-23 | CN119556526A | 2025-03-04 | 陈相见、刘敏、王鹏、丁炜、康靖 |
| 16 | 一种光刻胶用光致产酸剂的纯化方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202411880503.2 | 2024-12-19 | CN119874481A | 2025-04-25 | 程时建、王杨爱、刘志强、刘敏 |
| 17 | 含氟树脂及浸没式光刻胶 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202411477690.X | 2024-10-22 | CN119930878A | 2025-05-06 | 张斌、栾力冰、关琬婷 |
| 18 | 抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202411132286.9 | 2024-08-19 | CN118795729A | 2024-10-18 | 解德升、夏元玲、刘敏 |
| 19 | 正性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202410889235.4 | 2024-07-04 | CN119002178A | 2024-11-22 | 解德升、夏元玲、陈相见 |
| 20 | 鎓盐类化合物、光致产酸剂、包含其的光致抗蚀剂组合物 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202410644528.6 | 2024-05-23 | CN118619962A | 2024-09-10 | 苏敏光、张季平、王淑芹、夏元玲、陈涛 |
天眼查数据显示,湖北鼎汇微电子材料有限公司成立日期2015年10月20日,法定代表人王磊,所属行业为化学原料和化学制品制造业,企业规模为中型,注册资本10947.3684万人民币,实缴资本10947.3684万人民币,注册地址为武汉经济技术开发区东荆河路1号411号房。湖北鼎汇微电子材料有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目14次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息110条,拥有行政许可31个。
湖北鼎汇微电子材料有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 光致抗蚀剂的旋涂方法,光致抗蚀剂固化膜,旋涂装置及旋涂系统 | 发明专利 | 公布 | CN202610893790.3 | 2026-06-22 | CN122672268A | 2026-09-01 | 贺驰、喻刚、丁炜、王鹏、游凯、饶鑫、高越 |
| 2 | 聚合物基产酸剂、抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610869037.0 | 2026-06-16 | CN122520865A | 2026-08-07 | 姚昕迪、汤舒嵋、刘子豪、丁炜、王鹏、刘敏 |
| 3 | 一种化学机械抛光软垫及其制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610780700.X | 2026-06-02 | CN122606466A | 2026-08-21 | 罗乙杰、陈亚春、刘聪、柳焱林、阮波 |
| 4 | 抛光垫及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610442544.6 | 2026-04-07 | CN122185046A | 2026-06-12 | 王腾、黄云鹏、夏欣妍、刘志强、贺亚文 |
| 5 | 功能梯度抛光垫及其制备方法与应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511920262.4 | 2025-12-18 | CN121756228A | 2026-03-31 | 毛丽华、罗乙杰、汤舒嵋 |
| 6 | 抛光层、包含其的抛光垫及半导体器件的制造方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511870808.X | 2025-12-12 | CN121374403A | 2026-01-23 | 占英才、罗乙杰、严亮、夏欣妍、高越 |
| 7 | 化学机械抛光垫及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511853462.2 | 2025-12-10 | CN121517665A | 2026-02-13 | 刘聪、罗乙杰、李赛 |
| 8 | 抛光软垫及其制备方法、以及半导体器件的制造方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511720172.0 | 2025-11-21 | CN121552244A | 2026-02-24 | 陈亚春、罗乙杰、王磊、陈博、丁文强、柳焱林 |
| 9 | 一种抛光垫及其制备方法 | 发明专利 | 授权 | CN202511719983.9 | 2025-11-21 | CN121156908B | 2026-03-17 | 丁文强、阮波、陈亚春、郭纯、刘志强、罗乙杰、王磊 |
| 10 | 化学机械抛光垫缓冲层、制备方法、抛光垫及应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511648191.7 | 2025-11-12 | CN121340122A | 2026-01-16 | 阮波、罗乙杰、王磊、郭纯、夏元玲、康智茗 |
| 11 | 一种负性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、公布 | CN202511325141.5 | 2025-09-17 | CN120972454A | 2025-11-18 | 解德升、夏元玲、刘敏 |
| 12 | 光致产酸剂、抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、授权 | CN202511246222.6 | 2025-09-02 | CN120757484B | 2025-11-25 | 徐枫、苏敏光、王鹏、刘敏 |
| 13 | 一种含氟树脂粉末、包含其的光致抗蚀剂组合物及其制备方法和应用 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、授权 | CN202511205103.6 | 2025-08-27 | CN120704062B | 2025-12-09 | 张公平、苏敏光、游怀、陈相见、刘敏 |
| 14 | 化合物、聚合物、光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202511207207.0 | 2025-08-27 | CN121135616A | 2025-12-16 | 成凯、夏元玲、王鹏、刘敏 |
| 15 | 含氟树脂、抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202511205497.5 | 2025-08-27 | CN121135944A | 2025-12-16 | 王先进、万海星、李兆明 |
| 16 | 酸扩散控制剂、抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202511207432.4 | 2025-08-27 | CN121159439A | 2025-12-19 | 王鹏、夏元玲、成凯、刘敏 |
| 17 | 终点检测窗口、化学机械抛光垫及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510987028.7 | 2025-07-17 | CN120865505A | 2025-10-31 | 严亮、罗乙杰、占英才、刘聪、林文多 |
| 18 | 一种均质化学机械抛光垫及检测抛光垫炭黑分布均匀度的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510976071.3 | 2025-07-16 | CN120791629A | 2025-10-17 | 刘聪、罗乙杰、李赛、吴齐辉 |
| 19 | 锍盐化合物、抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202510664964.4 | 2025-05-22 | CN120554265A | 2025-08-29 | 万海星、李兆明、苏敏光、汤舒嵋 |
| 20 | 抛光层,抛光垫及抛光方法 | 发明专利 | 授权 | CN202510005327.6 | 2025-01-02 | CN119734199B | 2026-02-17 | 罗乙杰、毛丽华、高越 |
| 21 | 鎓盐类化合物,光致产酸剂、光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202411959825.6 | 2024-12-30 | CN119775174A | 2025-04-08 | 成凯、欧阳吉虹、王鹏、张季平、刘敏 |
| 22 | UV吸收化合物、包含其的光致抗蚀剂组合物 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202411958684.6 | 2024-12-27 | CN119775113A | 2025-04-08 | 丁炜、刘敏、陆康、罗祖获、朱胜强、贺驰、甄臻 |
| 23 | 鎓盐类化合物,光致产酸剂、光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 授权 | CN202411908274.0 | 2024-12-24 | CN119751407B | 2026-03-31 | 王鹏、欧阳吉虹、高越、刘敏 |
| 24 | 一种光致抗蚀剂组合物及其图案形成方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202411898423.X | 2024-12-23 | CN119556526A | 2025-03-04 | 陈相见、刘敏、王鹏、丁炜、康靖 |
| 25 | 一种光刻胶用光致产酸剂的纯化方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202411880503.2 | 2024-12-19 | CN119874481A | 2025-04-25 | 程时建、王杨爱、刘志强、刘敏 |
| 26 | 一种聚氨酯中化学结构的分析方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411830575.6 | 2024-12-12 | CN119688761A | 2025-03-25 | 刘聪、罗乙杰、陈博、胡一凡、吴士兴、李赛 |
| 27 | 一种热膨胀微球及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411804315.1 | 2024-12-10 | CN119463273A | 2025-02-18 | 叶春辉、杨东锋、夏家乐、罗乙杰 |
| 28 | 抛光层、抛光垫及半导体器件的制造方法 | 发明专利 | 授权 | CN202411803950.8 | 2024-12-09 | CN119772780B | 2025-12-16 | 罗乙杰、毛丽华、黄云鹏、高越 |
| 29 | 抛光垫及抛光方法 | 发明专利 | 授权 | CN202411803941.9 | 2024-12-09 | CN119772778B | 2026-08-25 | 罗乙杰、刘聪、高越 |
| 30 | 一种涂覆浆料及其制备的铝箔双面涂碳材料 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411595850.0 | 2024-11-11 | CN119463699A | 2025-02-18 | 陈亚春、罗乙杰、陈博、高越、欧阳吉虹 |
| 31 | 一种导热材料中导热粉体配方的分析方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202411548768.2 | 2024-11-01 | CN119290684B | 2025-07-29 | 陈博、罗乙杰、甄臻、陈亚春、刘明明、赵文 |
| 32 | 含氟树脂及浸没式光刻胶 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202411477690.X | 2024-10-22 | CN119930878A | 2025-05-06 | 张斌、栾力冰、关琬婷 |
| 33 | 水溶性聚合物及其制备方法、其在研磨用组合物中的应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411363693.0 | 2024-09-28 | CN119192444A | 2024-12-27 | 栗华、张云鹏、刘子龙、肖桂林 |
| 34 | 抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202411132286.9 | 2024-08-19 | CN118795729A | 2024-10-18 | 解德升、夏元玲、刘敏 |
| 35 | 一种导热垫片、制造方法及其应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411088354.6 | 2024-08-09 | CN118984566A | 2024-11-19 | 陈博、罗乙杰、赵文、陈亚春、刘明明、夏元玲 |
| 36 | 一种聚氨酯抛光垫及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410888689.X | 2024-07-04 | CN118848836A | 2024-10-29 | 丁文强、王磊、郭纯、刘志强、陈亚春 |
| 37 | 正性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202410889235.4 | 2024-07-04 | CN119002178A | 2024-11-22 | 解德升、夏元玲、陈相见 |
| 38 | 一种研磨布及其制备方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202410889064.5 | 2024-07-04 | CN118721015B | 2025-06-10 | 冯玉璞、王磊、郭纯、阮波、丁文强、刘志强 |
| 39 | 晶圆清洗刷、清洗装置及清洗方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410832554.1 | 2024-06-26 | CN118831866A | 2024-10-25 | 胡怀志、高越、李亚东、王欢、肖桂林 |
| 40 | 一种含THEMAH的季铵碱液、制备方法及其应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410740947.X | 2024-06-11 | CN121107995A | 2025-12-12 | 胡怀志、王培浩、毕明航、胡盼、刘子龙、肖桂林 |
| 41 | 化学机械抛光组合物及抛光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410684478.4 | 2024-05-30 | CN118562394A | 2024-08-30 | 刘子龙、冉运、黄维、肖桂林 |
| 42 | 鎓盐类化合物、光致产酸剂、包含其的光致抗蚀剂组合物 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202410644528.6 | 2024-05-23 | CN118619962A | 2024-09-10 | 苏敏光、张季平、王淑芹、夏元玲、陈涛 |
| 43 | 抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、公布 | CN202410310926.4 | 2024-03-19 | CN120669474A | 2025-09-19 | 苏敏光、张季平、高越、康靖、陈涛 |
| 44 | 一种聚氨酯中聚酯多元醇的组成单体含量的分析方法及应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410042798.X | 2024-01-11 | CN118243160A | 2024-06-25 | 陈博、罗乙杰、王磊、高越、陈亚春、赵文、柳焱林 |
| 45 | 一种抛光垫及研磨设备 | 发明专利 | 授权 | CN202410038728.7 | 2024-01-11 | CN117697619B | 2026-05-26 | 罗乙杰、杨浩、康靖 |
| 46 | 抛光垫及其研磨设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311847910.9 | 2023-12-29 | CN117754453A | 2024-03-26 | 罗乙杰、康靖、杨浩 |
| 47 | 一种泄爆通风橱 | 实用新型 | 授权 | CN202323665592.2 | 2023-12-29 | CN221790499U | 2024-10-01 | 刘敏、余军 |
| 48 | 浆料组合物、软质抛光垫及其制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202311853503.9 | 2023-12-29 | CN118725709A | 2024-10-01 | 阮波、王磊、郭纯、刘志强、张开登、郭明亮 |
| 49 | 抛光垫及抛光系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311826819.9 | 2023-12-28 | CN117733728A | 2024-03-22 | 罗乙杰、黄振伟、段冲、高越 |
| 50 | 一种抛光垫基材及其制备方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202311794759.7 | 2023-12-25 | CN117924644B | 2025-07-15 | 陈亚春、罗乙杰、王磊、陈博、梁雪、柳焱林、汤舒嵋 |
鼎龙股份是国内光电半导体材料与打印复印耗材领域领先企业,凭借全产业链布局形成差异化竞争优势。公司成立于2000年7月11日,2010年2月11日在深圳证券交易所上市,注册地为湖北省武汉市,办公地涵盖湖北省武汉市与香港特别行政区。
鼎龙股份主营业务覆盖打印复印通用耗材业务和光电半导体工艺材料业务,所属申万行业为电子-电子化学品Ⅱ-电子化学品Ⅲ,同时归属于大盘成长、科创企业同股同权、芯片概念板块。
2026年上半年,鼎龙股份实现营业收入19.25亿元,在行业36家可比企业中排名第6,高于11.18亿元的行业平均水平与8.76亿元的行业中位数,同期行业营收前两名分别为西陇科学43.07亿元、国瓷材料25.13亿元;当期公司实现净利润5.63亿元,位列36家可比行业企业首位,大幅领先1.12亿元的行业平均净利润与6607.66万元的行业中位数,第二名安集科技同期净利润为5.32亿元。
| 指标类型 | 报告期 | 鼎龙股份数值 | 行业排名 | 可比行业标的数值 | 行业平均 | 行业中位数 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 营业收入 | 2026年上半年 | 19.25亿元 | 6/36 | 西陇科学43.07亿元、国瓷材料25.13亿元 | 11.18亿元 | 8.76亿元 |
| 净利润 | 2026年上半年 | 5.63亿元 | 1/36 | 安集科技5.32亿元 | 1.12亿元 | 6607.66万元 |
湖北鼎龙控股股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 光致抗蚀剂的旋涂方法,光致抗蚀剂固化膜,旋涂装置及旋涂系统 | 发明专利 | 公布 | CN202610893790.3 | 2026-06-22 | CN122672268A | 2026-09-01 | 贺驰、喻刚、丁炜、王鹏、游凯、饶鑫、高越 |
| 2 | 聚合物基产酸剂、抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610869037.0 | 2026-06-16 | CN122520865A | 2026-08-07 | 姚昕迪、汤舒嵋、刘子豪、丁炜、王鹏、刘敏 |
| 3 | 硅溶胶组合物、化学机械抛光组合物和抛光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610860863.9 | 2026-06-15 | CN122405227A | 2026-07-17 | 栗华、彭卓、胡怀志、刘子龙、肖桂林 |
| 4 | 化学机械抛光组合物和抛光基材的方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610815598.2 | 2026-06-08 | CN122628674A | 2026-08-25 | 王临曦、王银、刘子龙 |
| 5 | 一种化学机械抛光软垫及其制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610780700.X | 2026-06-02 | CN122606466A | 2026-08-21 | 罗乙杰、陈亚春、刘聪、柳焱林、阮波 |
| 6 | 抛光垫及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610442544.6 | 2026-04-07 | CN122185046A | 2026-06-12 | 王腾、黄云鹏、夏欣妍、刘志强、贺亚文 |
| 7 | 外电场诱导聚酰亚胺分子排列提高透明性的方法、系统及聚酰亚胺薄膜 | 发明专利 | 授权 | CN202610300293.8 | 2026-03-12 | CN121801144B | 2026-07-21 | 刘学清、成为、赵奇峰、肖桂林、鲁丽平、陈风、苏敏光、黄金辉、陈佳、邹立勇、尤庆亮 |
| 8 | 负性光敏性树脂、感光树脂组合物及其制备方法与应用 | 发明专利 | 公布 | CN202610244431.5 | 2026-03-02 | CN122103574A | 2026-05-29 | 李卓、肖桂林、王禹、何玉 |
| 9 | 光敏树脂组合物及其应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610231247.7 | 2026-02-27 | CN122011288A | 2026-05-12 | 张诚、洪金浪 |
| 10 | 高粘附性、高透明液晶聚酰亚胺薄膜及制备方法 | 发明专利 | 授权 | CN202610225933.3 | 2026-02-26 | CN121718048B | 2026-07-17 | 刘学清、刘继延、成为、赵奇峰、尤庆亮、苏敏光、黄金辉、肖桂林、鲁丽平、邹立勇、陈风、陈佳 |
| 11 | 化学机械抛光组合物及抛光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512036294.4 | 2025-12-30 | CN121873685A | 2026-04-17 | 刘子龙、冉运、栗华、师航、肖桂林 |
| 12 | 用于KrF抗蚀剂组合物中的树脂及其制备方法、抗蚀剂组合物 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511962144.X | 2025-12-24 | CN121717938A | 2026-03-24 | 肖磊、袁俊杰、游怀、陈相见、杨旻朗、胡昊文 |
| 13 | 一种封装组合物、封装阻隔膜以及半导体器件 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511924218.0 | 2025-12-19 | CN121758675A | 2026-03-31 | 黄躜、王卓、唐招文、张萍、肖桂林 |
| 14 | 功能梯度抛光垫及其制备方法与应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511920262.4 | 2025-12-18 | CN121756228A | 2026-03-31 | 毛丽华、罗乙杰、汤舒嵋 |
| 15 | 抛光层、包含其的抛光垫及半导体器件的制造方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511870808.X | 2025-12-12 | CN121374403A | 2026-01-23 | 占英才、罗乙杰、严亮、夏欣妍、高越 |
| 16 | 化学机械抛光垫及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511853462.2 | 2025-12-10 | CN121517665A | 2026-02-13 | 刘聪、罗乙杰、李赛 |
| 17 | 表面改性胶态二氧化硅颗粒及包括其的抛光组合物、化学机械抛光方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511824671.4 | 2025-12-05 | CN121628573A | 2026-03-10 | 欧阳吉虹、欧阳广成、肖桂林、高越、夏欣妍、汤舒嵋 |
| 18 | 一种调色剂及其制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511768728.3 | 2025-11-28 | CN121541425A | 2026-02-17 | 刘文峰、肖桂林、王永强、续守民、吕铃铃、许臣臣、潘君临 |
| 19 | 抗蚀剂组合物、光产酸剂的制备方法及图案形成方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511747023.3 | 2025-11-26 | CN121364599A | 2026-01-20 | 罗祖获、丁炜、朱胜强、成凯、刘子豪 |
| 20 | 一种晶片清洗剂及其制备方法、晶片加工方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511735088.6 | 2025-11-25 | CN121574778A | 2026-02-27 | 胡盼、胡怀志、杨兰、汤舒嵋 |
| 21 | 抛光软垫及其制备方法、以及半导体器件的制造方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511720172.0 | 2025-11-21 | CN121552244A | 2026-02-24 | 陈亚春、罗乙杰、王磊、陈博、丁文强、柳焱林 |
| 22 | 一种抛光垫及其制备方法 | 发明专利 | 授权 | CN202511719983.9 | 2025-11-21 | CN121156908B | 2026-03-17 | 丁文强、阮波、陈亚春、郭纯、刘志强、罗乙杰、王磊 |
| 23 | 聚酯树脂乳液及其制备方法、以及调色剂及其应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511678096.1 | 2025-11-17 | CN121574522A | 2026-02-27 | 潘君临、王永强、续守民、程振、许臣臣、高宇森 |
| 24 | 核壳结构的复合磨粒、铜阻挡层化学机械抛光液及其应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511657212.1 | 2025-11-13 | CN121518104A | 2026-02-13 | 夏元玲、吴亮、肖桂林、王珍 |
| 25 | 化学机械抛光垫缓冲层、制备方法、抛光垫及应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511648191.7 | 2025-11-12 | CN121340122A | 2026-01-16 | 阮波、罗乙杰、王磊、郭纯、夏元玲、康智茗 |
| 26 | 负型感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511630847.2 | 2025-11-10 | CN121477548A | 2026-02-06 | 赵志强、肖桂林、王禹、张咏、涂先爽、郑林波、李卓 |
| 27 | 调色剂用聚酯树脂、调色剂以及静电荷图像显影剂 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511558968.0 | 2025-10-29 | CN121136035A | 2025-12-16 | 潘君临、王永强、续守民、程振、许臣臣、谭阳露 |
| 28 | 液晶取向剂、液晶取向膜以及液晶显示元件 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511518913.7 | 2025-10-23 | CN121406345A | 2026-01-27 | 王禹、刘金果、张咏、陈诚、黄躜、肖桂林 |
| 29 | 负性感光树脂组合物、固化膜、图案固化膜及其应用 | 发明专利 | 授权 | CN202511516119.9 | 2025-10-23 | CN120993674B | 2026-03-06 | 阮奇、周小明、王元强 |
| 30 | 化学机械抛光组合物和抛光基材的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511513233.6 | 2025-10-22 | CN121293884A | 2026-01-09 | 夏欣妍、王临曦、肖桂林、张季平、高越、夏元玲、甄臻、欧阳吉虹、汤舒嵋 |
| 31 | 负性感光性着色树脂组合物、固化膜和图案加工方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511407328.X | 2025-09-29 | CN121187072A | 2025-12-23 | 韩家斌、王元强、赵祖伊、杨熊钰、万仔强 |
| 32 | 感光树脂组合物、固化膜和彩色遮光层 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511340603.0 | 2025-09-19 | CN121165394A | 2025-12-19 | 杨恒、万仔强、王元强、周小明、樊林、唐招文、鲁丽平、肖桂林、朱双全 |
| 33 | 铜阻挡层化学机械抛光组合物及抛光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511325379.8 | 2025-09-17 | CN120924168A | 2025-11-11 | 高越、吴亮、肖桂林、夏欣妍、夏元玲、甄臻、欧阳吉虹、汤舒嵋 |
| 34 | 一种负性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、公布 | CN202511325141.5 | 2025-09-17 | CN120972454A | 2025-11-18 | 解德升、夏元玲、刘敏 |
| 35 | 光致产酸剂、抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、授权 | CN202511246222.6 | 2025-09-02 | CN120757484B | 2025-11-25 | 徐枫、苏敏光、王鹏、刘敏 |
| 36 | 感光树脂组合物、固化膜、图案固化膜及其应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511233007.2 | 2025-09-01 | CN121091599A | 2025-12-09 | 阮奇、王元强、周小明 |
| 37 | 多层核壳结构化学碳粉及其制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511212649.4 | 2025-08-28 | CN120762259A | 2025-10-10 | 程振、王永强、肖桂林 |
| 38 | 负型感光性树脂组合物、固化膜及其制造方法、层叠体、半导体元件 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511213693.7 | 2025-08-28 | CN121142901A | 2025-12-16 | 郑林波、肖桂林、王禹、赵志强 |
| 39 | 无氟感光树脂组合物、图案化的固化物 | 发明专利 | 公布 | CN202511203222.8 | 2025-08-27 | CN121028462A | 2025-11-28 | 胡立文、刘协鹏、汤舒嵋 |
| 40 | 一种含氟树脂粉末、包含其的光致抗蚀剂组合物及其制备方法和应用 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、授权 | CN202511205103.6 | 2025-08-27 | CN120704062B | 2025-12-09 | 张公平、苏敏光、游怀、陈相见、刘敏 |
| 41 | 化合物、聚合物、光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202511207207.0 | 2025-08-27 | CN121135616A | 2025-12-16 | 成凯、夏元玲、王鹏、刘敏 |
| 42 | 含氟树脂、抗蚀剂组合物及图案形成方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202511205497.5 | 2025-08-27 | CN121135944A | 2025-12-16 | 王先进、万海星、李兆明 |
| 43 | 酸扩散控制剂、抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202511207432.4 | 2025-08-27 | CN121159439A | 2025-12-19 | 王鹏、夏元玲、成凯、刘敏 |
| 44 | 正型感光性树脂组合物、固化膜和图案加工方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511150742.7 | 2025-08-18 | CN120949513A | 2025-11-14 | 杨熊钰、王元强、周小明、樊林、柯孝明、鲁丽平、肖桂林、朱双全 |
| 45 | 聚酰亚胺前体、液晶取向剂、液晶取向膜及制造方法、液晶表示元件 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202511099522.6 | 2025-08-07 | CN120590629B | 2025-11-04 | 刘金果、肖桂林、王禹、张咏、刘玉红、孙羊 |
| 46 | 一种化学机械抛光组合物及其应用方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510984147.7 | 2025-07-17 | CN120866826A | 2025-10-31 | 汤舒嵋、高越、肖桂林、夏元玲、甄臻、夏欣妍、欧阳吉虹 |
| 47 | 终点检测窗口、化学机械抛光垫及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510987028.7 | 2025-07-17 | CN120865505A | 2025-10-31 | 严亮、罗乙杰、占英才、刘聪、林文多 |
| 48 | 一种均质化学机械抛光垫及检测抛光垫炭黑分布均匀度的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510976071.3 | 2025-07-16 | CN120791629A | 2025-10-17 | 刘聪、罗乙杰、李赛、吴齐辉 |
| 49 | 化学机械抛光组合物和抛光铜基材的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510971178.9 | 2025-07-15 | CN120905676A | 2025-11-07 | 夏欣妍、欧阳广成、肖桂林、张季平、高越、夏元玲、甄臻、欧阳吉红、汤舒嵋 |
| 50 | 一种液晶取向剂、液晶取向膜和液晶表示元件 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510880408.0 | 2025-06-27 | CN120818140A | 2025-10-21 | 王禹、刘金果、陈诚、黄躜、张咏、肖桂林 |
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