9月9日，截止午间收盘，科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）跌0.53%，报0.944元，成交额3.75亿元。科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）重仓股方面，华海清科截止午盘跌0.62%，中微公司跌0.47%，中科飞测跌2.26%，拓荆科技涨0.16%，华峰测控跌0.86%，芯源微跌0.74%，沪硅产业跌0.70%，安集科技跌1.01%，盛美上海跌1.60%，富创精密跌0.25%。

科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为华泰柏瑞基金管理有限公司，基金经理为李沐阳，成立（2025-05-26）以来回报为185.06%，近一个月回报为-8.84%。

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