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江丰电子申请钽铝合金靶材相关专利,制备大尺寸高纯钽铝合金靶材填补国内量产空白

8月29日消息,国家知识产权局信息显示,宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种大尺寸钽铝合金靶材组件及其制备方法与应用”的专利。申请公布号为CN122648896A,申请号为CN202611027428.4,申请公布日期为2026年8月28日,申请日期为2026年7月10日,发明人周友平、姚力军、任壮、简宁、廖培君,专利代理机构北京远智汇知识产权代理有限公司,专利代理师牛海燕,分类号C23C14/35、C22C1/04、C22C27/02、B22F3/04、B22F3/15、B22F7/08、C23C14/14、B23P15/00。

专利摘要显示,本发明提供一种大尺寸钽铝合金靶材组件及其制备方法与应用,所述制备方法包括:(1)将钽粉与铝粉均匀混合,得到合金粉末;(2)将合金粉末装入柔性模具中进行冷等静压成型,得到合金生坯;(3)将合金生坯封装于金属包套内依次进行真空脱气和烧结致密化,得到致密化坯体;(4)去除包套后对坯体进行机械加工,得到钽铝合金靶坯;(5)在钽铝合金靶坯与背板之间设置铝中间层,装配完成后依次进行包套焊接和真空脱气;(6)将脱气后的装配体进行固相扩散焊接,去除焊接后的包套,机械加工后得到大尺寸钽铝合金靶材组件。本发明成功制备出直径≥400mm的钽铝合金靶材,且纯度稳定达到4N以上,填补国内大尺寸高纯TaAl靶材量产空白。

江丰电子是国内高纯溅射靶材领域领先企业,专注半导体材料核心产品研发,具备深厚技术壁垒与全产业链配套优势。公司成立于2005年4月14日,2017年6月15日于深圳证券交易所上市,注册及办公地址均位于浙江省。

江丰电子主营高纯溅射靶材的研发、生产和销售,同时布局金属材料制造业务,申万行业分类隶属于电子-半导体-半导体材料赛道,核心概念覆盖靶材、第三代半导体、半导体材料三大热门板块。

2026年上半年,江丰电子实现营业收入27.37亿元,在28家同行业企业中排名第3,仅次于有研新材的61.58亿元与雅克科技的45.13亿元,远超行业11.68亿元的平均营收水平,大幅高于6.26亿元的行业营收中位数。营收结构中,超高纯靶材贡献16.71亿元,占比61.04%;精密零部件实现6.45亿元收入,占比23.56%;其他业务收入4.22亿元,占比15.40%。盈利端,公司当期归母净利润达4.72亿元,位列28家同行业企业第2,仅次于雅克科技的6.37亿元,显著高于行业5833.35万元的平均净利润与5637.14万元的行业净利润中位数,盈利表现处于行业第一梯队。

指标类别 具体指标 数值 行业维度表现
营收核心数据 2026年上半年营业收入 27.37亿元 行业排名3/28,高于行业均值11.68亿元、中位数6.26亿元
营收构成 超高纯靶材营收及占比 16.71亿元,61.04% 核心业务贡献超六成收入
营收构成 精密零部件营收及占比 6.45亿元,23.56% 第二大收入来源
营收构成 其他业务营收及占比 4.22亿元,15.40% 补充业务板块
盈利核心数据 2026年上半年净利润 4.72亿元 行业排名2/28,远超行业均值5833.35万元、中位数5637.14万元

宁波江丰电子材料股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种大尺寸钽铝合金靶材组件及其制备方法与应用发明专利公布CN202611027428.42026-07-10CN122648896A2026-08-28周友平、姚力军、任壮、简宁、廖培君
2一种增强溅射靶材表面抗氧化效果的处理方法发明专利公布CN202610889787.42026-06-18CN122446129A2026-07-24边逸军、姚力军、吕燕妮
3一种增强背板强度的靶材组件及其制备方法发明专利公布CN202610887024.62026-06-18CN122542989A2026-08-11边逸军、姚力军、吕燕妮
4一种铝铜靶材及其制备方法发明专利公布CN202610880899.32026-06-17CN122484698A2026-07-31姚力军、于雪莲、陈勇军
5一种半导体用复杂结构匀气盘的热等静压焊接方法发明专利公布CN202610862894.82026-06-15CN122425325A2026-07-21姚力军、廖培君、陈明亮、慕二龙、汪焱斌、周友平
6超大规格热电偶保护用钼管的焊接方法及双路气控装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610851895.22026-06-12CN122400725A2026-07-17姚力军、滕召伟、曹欢欢、周友平、李超
7一种氮化铝造粒粉及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610820019.32026-06-08CN122427024A2026-07-21边逸军、姚力军、江远智、李思剑、王佳乾、杨慧珍、廖培君
8一种化学气相沉积用匀气盘锥形气孔的加工方法发明专利公布CN202610810814.42026-06-05CN122428260A2026-07-21姚力军、蔡怀然、边逸军
9一种喷淋装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610743887.62026-05-27CN122327191A2026-07-03姚力军、宋嘉杰
10一种溅射完钛靶材的再生方法、钛靶材、钛靶材组件发明专利实质审查的生效、公布CN202610717473.62026-05-22CN122327215A2026-07-03姚力军、李佳奇、杨广、李铭铭、侯娟华、刘凯彬
11一种铝锰合金金相试样的制备方法发明专利公布CN202610708883.42026-05-21CN122468483A2026-07-28边逸军、姚力军、朱帅、陈勇军
12一种钛质锅型靶材的冲压成型方法、一体成型锅型靶材发明专利实质审查的生效、公布CN202610681862.82026-05-18CN122425113A2026-07-21边逸军、姚力军、廖培君、钟佳妮、施赵钧
13一种纯铝的晶粒腐蚀方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610674891.12026-05-15CN122344769A2026-07-07边逸军、姚力军、胡淼锡、周友平、陈勇军
14一种半导体气体分配盘的焊接方法发明专利公布CN202610674890.72026-05-15CN122480459A2026-07-31姚力军、陈雪锐、汪涛
15一种钨硅合金靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610666025.82026-05-14CN122322475A2026-07-03边逸军、姚力军、杜浩楠、廖培君、吴东青
16一种防止管状陶瓷靶材开裂变形的烧结方法发明专利公布CN202610666022.42026-05-14CN122427002A2026-07-21边逸军、姚力军、李思剑、江远智、王佳乾
17一种成分均匀低氧MoSi合金靶材制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610643371.42026-05-11CN122214801A2026-06-16边逸军、姚力军、陈少辉
18一种钨镍钽合金靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610635043.X2026-05-09CN122322477A2026-07-03边逸军、姚力军、宋阳阳、廖培君
19一种钴酸锂陶瓷靶材及其制备方法和应用发明专利实质审查的生效、公布CN202610635045.92026-05-09CN122520437A2026-08-07边逸军、姚力军、滕晓朋、廖培君、黄文杰
20一种辉光放电质谱仪检测AlSiCu合金的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610615075.32026-05-07CN122193370A2026-06-12边逸军、姚力军、武威、钟伟华
21一种氮化铝喷雾造粒废粉的回收利用方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610610177.62026-05-06CN122301139A2026-06-30边逸军、姚力军、李思剑、江远智、王佳乾
22一种气体分配盘内腔异物清理装置及清理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610610178.02026-05-06CN122400224A2026-07-17姚力军、洪晨翔
23一种用于激光粒度分析的粉末样品取样方法及粉末粒径的测试方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610576869.32026-04-28CN122259417A2026-06-23边逸军、姚力军、袁满、黄文杰、陈皓玮
24一种提高晶粒组织均匀性的高纯铜靶材制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610576868.92026-04-28CN122279438A2026-06-26边逸军、姚力军、陈勇军、高丽、周友平
25一种静电吸盘的钎焊方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610567255.92026-04-27CN122184494A2026-06-12边逸军、姚力军、李建
26一种半导体喷淋头枪钻孔的检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610567332.02026-04-27CN122217239A2026-06-16姚力军、段振宇
27一种钨钛铝合金靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610567333.52026-04-27CN122274180A2026-06-26边逸军、姚力军、任壮、刘荣、廖培君
28一种类三角形钛靶材组件的加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610567334.X2026-04-27CN122442297A2026-07-24边逸军、姚力军、陈明亮、廖培君、慕二龙
29一种适用于ICP-OES分析的AgCuZn合金消解方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610557316.32026-04-24CN122385298A2026-07-14边逸军、姚力军、熊秀琴、钟伟华
30一种适用于ICP-OES分析的CoZrTaB合金消解方法发明专利公布CN202610557313.X2026-04-24CN122430119A2026-07-21边逸军、姚力军、熊秀琴、钟伟华
31一种氧化铝靶材的焊接方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610548770.22026-04-23CN122322655A2026-07-03边逸军、姚力军、王勇、杨慧珍、周友平、廖培君
32一种氧化铝和不锈钢的复合焊接方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610548778.92026-04-23CN122400702A2026-07-17边逸军、姚力军、王勇、杨慧珍、周友平、廖培君
33一种熔盐电解制备高纯钒粉的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610540600.X2026-04-22CN122105533A2026-05-29边逸军、姚力军、孙慧芳、吴东青
34一种氮化铝陶瓷加热器盘体的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610540606.72026-04-22CN122427025A2026-07-21边逸军、姚力军、王佳乾、杨慧珍、廖培君
35用于真空钎焊的装夹结构及铝合金板材的真空钎焊方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610464597.82026-04-09CN122033372A2026-05-15边逸军、姚力军、王勇、杨慧珍、周友平、廖培君
36一种陶瓷基板翘曲度的检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610456817.22026-04-08CN122192212A2026-06-12边逸军、姚力军、陈皓玮、孙慧芳
37一种陶瓷加热盘内部结构的定位方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610456818.72026-04-08CN122212770A2026-06-16边逸军、姚力军、王浩、杨慧珍、李爽、王佳乾
38一种铜铬镍硅合金背板及其制备方法和靶材组件发明专利实质审查的生效、公布CN202610456819.12026-04-08CN122256894A2026-06-23边逸军、姚力军、周友平、陈勇军、陆彤、孙明亮
39一种不锈钢溅射靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610438583.92026-04-03CN122235654A2026-06-19边逸军、姚力军、武钰龙、陈勇军、周友平
40一种钨靶材晶粒粒度的检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610392953.X2026-03-27CN122084472A2026-05-26边逸军、姚力军、朱海清
41一种制备性能优异的钴锂合金靶材的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610392958.22026-03-27CN122143195A2026-06-05边逸军、姚力军、杜浩楠、廖培君、吴东青、汤婷、刘荣
42一种用于靶材组件的背板发明专利实质审查的生效、公布CN202610392947.42026-03-27CN122235652A2026-06-19边逸军、姚力军、魏李镔
43一种铝锰合金加热盘体及其制备方法与应用发明专利实质审查的生效、公布CN202610392949.32026-03-27CN122235610A2026-06-19边逸军、姚力军、朱帅、陈勇军
44一种镍钴磷合金靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610392945.52026-03-27CN122235651A2026-06-19边逸军、姚力军、孙慧芳、吴东青
45一种NiMo合金蒸发料的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610392963.32026-03-27CN122235512A2026-06-19边逸军、姚力军、华东瑜
46一种超高含镍靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610392951.02026-03-27CN122235653A2026-06-19边逸军、姚力军、陈勇军、于雪莲、周友平
47一种气体分配盘的电子束焊接方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610293853.12026-03-11CN121847925A2026-04-14姚力军、谢宇轩
48一种用于半导体花洒的进气工装发明专利实质审查的生效、公布CN202610293848.02026-03-11CN121988469A2026-05-08姚力军、毛成城、张林桥
49一种铁氧体材料表面的清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610287953.32026-03-10CN121869762A2026-04-17边逸军、姚力军、华东瑜
50一种高性能锰锌铁氧体粉末的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610287963.72026-03-10CN122127142A2026-06-02边逸军、姚力军、华东瑜

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