数据显示，8月27日，国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)获净申购2.68亿元，位居当日股票ETF净流入排名5/1308。最新规模448.54亿元，前一日规模431.04亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为0.62%。

近5日，国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)获净申购6.9亿元，位居股票ETF净流入排名第5/1308。近10日，国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)获净申购13.02亿元，位居股票ETF净流入排名第7/1308。近20日，国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)获净申购17.67亿元，位居股票ETF净流入排名第3/1308。

国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）成立于2023年7月19日，基金全称为国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为国泰中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。

规模方面，截止8月27日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）最新份额为604.91亿份，最新规模为448.54亿元。回顾2025年12月31日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）份额为58.53亿份，规模为90.11亿元。即该基金今年以来份额增加933.58%，规模增加397.76%。

流动性方面，截止8月27日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）近20个交易日累计成交金额936.48亿元，日均成交金额46.82亿元；今年以来，158个交易日，累计成交金额5116.07亿元，日均成交金额32.38亿元。

国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）现任基金经理为艾小军。艾小军自2023年7月19日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益196.60%。

最新定期报告显示，国泰基金（159516）重仓股包括中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、中科飞测、江丰电子、华峰测控、芯源微、沪硅产业，持仓占比如下：

股票代码	股票名称	持仓占比	持仓股数（股）	持仓市值（元）
688012	中微公司	15.10%	1423.61万	66.68亿
002371	北方华创	13.34%	665.91万	58.90亿
300604	长川科技	6.46%	836.91万	28.54亿
688072	拓荆科技	6.43%	341.29万	28.39亿
688120	华海清科	5.49%	752.69万	24.25亿
688361	中科飞测	4.52%	463.94万	19.95亿
300666	江丰电子	3.37%	404.10万	14.90亿
688200	华峰测控	3.14%	263.93万	13.86亿
688037	芯源微	3.06%	307.60万	13.51亿
688126	沪硅产业	2.83%	3134.16万	12.50亿

跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

代码	名称	基金规模(亿元) 20260827	近1月日均成交额 (亿元)	净申购(亿元) 20260827	近1周净申购 (亿元)	近1月净申购 (亿元)	基金公司
159516	国泰中证半导体材料设备主题ETF	448.54	48.92	2.68	6.90	40.78	国泰基金
159558	易方达中证半导体材料设备主题ETF	220.39	21.33	-0.72	1.73	22.05	易方达基金
560780	广发中证半导体材料设备ETF	140.81	10.01	-0.97	1.44	21.24	广发基金
562590	华夏中证半导体材料设备主题ETF	94.62	7.00	-0.93	1.54	8.37	华夏基金
159327	万家中证半导体材料设备主题ETF	34.00	3.34	-0.25	-0.28	9.20	万家基金

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