数据显示，8月27日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)遭净赎回9305.97万元，位居当日股票ETF净流出排名33/1308。最新规模94.62亿元，前一日规模92.37亿元，当日资金净流出额占前一日规模的比例为1.01%。

近5日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购1.54亿元，位居股票ETF净流入排名第28/1308。近10日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购5.57亿元，位居股票ETF净流入排名第16/1308。近20日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购3.32亿元，位居股票ETF净流入排名第32/1308。

华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）成立于2023年10月9日，基金全称为华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。

规模方面，截止8月27日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）最新份额为90.23亿份，最新规模为94.62亿元。回顾2025年12月31日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）份额为4.9亿份，规模为7.91亿元。即该基金今年以来份额增加1742.69%，规模增加1095.52%。

流动性方面，截止8月27日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）近20个交易日累计成交金额135.27亿元，日均成交金额6.76亿元；今年以来，158个交易日，累计成交金额681.13亿元，日均成交金额4.31亿元。

华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）现任基金经理为单宽之。单宽之自2024年6月11日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益245.08%。

最新定期报告显示，华夏基金（562590）重仓股包括中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、中科飞测、江丰电子、华峰测控、芯源微、沪硅产业，持仓占比如下：

股票代码	股票名称	持仓占比	持仓股数（股）	持仓市值（元）
688012	中微公司	15.09%	267.91万	12.55亿
002371	北方华创	13.35%	125.52万	11.10亿
300604	长川科技	6.56%	159.78万	5.46亿
688072	拓荆科技	6.30%	62.98万	5.24亿
688120	华海清科	5.40%	139.31万	4.49亿
688361	中科飞测	4.52%	87.37万	3.76亿
300666	江丰电子	3.39%	76.60万	2.82亿
688200	华峰测控	3.16%	49.99万	2.63亿
688037	芯源微	3.03%	57.33万	2.52亿
688126	沪硅产业	2.82%	588.24万	2.35亿

跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

代码	名称	基金规模(亿元) 20260827	近1月日均成交额 (亿元)	净申购(亿元) 20260827	近1周净申购 (亿元)	近1月净申购 (亿元)	基金公司
159516	国泰中证半导体材料设备主题ETF	448.54	48.92	2.68	6.90	40.78	国泰基金
159558	易方达中证半导体材料设备主题ETF	220.39	21.33	-0.72	1.73	22.05	易方达基金
560780	广发中证半导体材料设备ETF	140.81	10.01	-0.97	1.44	21.24	广发基金
562590	华夏中证半导体材料设备主题ETF	94.62	7.00	-0.93	1.54	8.37	华夏基金
159327	万家中证半导体材料设备主题ETF	34.00	3.34	-0.25	-0.28	9.20	万家基金

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