截至2026年8月26日 13:10，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨2.71%，中证半导体材料设备主题指数（931743）强势上涨2.38%，热门个股方面，中科飞测上涨8.51%，强一股份上涨7.12%，芯源微上涨5.29%，屹唐股份，富创精密等个股跟涨。

资金流入方面，科创半导体ETF华夏昨日资金净流入12.23亿元，近5个交易日合计“吸金”57.15亿元，日均净流入达11.43亿元。半导体设备ETF华夏近6天获得连续资金净流入，最高单日获得2.01亿元净流入，合计“吸金”7.83亿元，日均净流入达1.31亿元。

消息面上，中微公司先进薄膜设备累计出货突破500个反应台，覆盖LPCVD、金属薄膜沉积、介质薄膜沉积等核心机型，标志公司高端薄膜沉积设备已实现规模化商用。钨CVD、HAR及ALD设备已通过先进存储客户验证并获得重复量产订单，薄膜设备正成为继刻蚀之后新的核心增长板块，国产设备向先进逻辑、先进存储及先进封装持续渗透。

东海证券认为，中微公司正由刻蚀设备龙头加速向平台型半导体设备公司转型，产品已从刻蚀、薄膜沉积进一步延伸至CMP、量检测等领域。随着AI基础设施投资扩张、晶圆厂资本开支增长及设备国产化持续推进，公司订单保持较高景气，薄膜沉积等新品放量有望打开第二增长曲线，维持“买入”评级。

相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数为上证科创板半导体材料设备指数，其中存储芯片含量超80%，长鑫存储概念含量55%，先进封装含量超67%，聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357）：跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量约73%，长鑫存储概念含量约61%，直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。