数据显示，8月25日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)获净申购1.62亿元，位居当日股票ETF净流入排名26/1305。最新规模115.58亿元，前一日规模117.24亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为1.38%。

近5日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)获净申购7.11亿元，位居股票ETF净流入排名第22/1305。近10日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)获净申购7.17亿元，位居股票ETF净流入排名第14/1305。近20日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)获净申购23.14亿元，位居股票ETF净流入排名第6/1305。

华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）成立于2025年5月26日，基金全称为华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模方面，截止8月25日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）最新份额为114.55亿份，最新规模为115.58亿元。回顾2025年12月31日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）份额为5.7亿份，规模为8.86亿元。即该基金今年以来份额增加1908.59%，规模增加1204.16%。

流动性方面，截止8月25日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）近20个交易日累计成交金额409.6亿元，日均成交金额20.48亿元；今年以来，156个交易日，累计成交金额1175.78亿元，日均成交金额7.54亿元。

华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）现任基金经理为李沐阳。李沐阳自2025年5月26日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益202.70%。

最新定期报告显示，华泰柏瑞基金（588710）重仓股包括华海清科、中微公司、中科飞测、拓荆科技、华峰测控、芯源微、沪硅产业、安集科技、盛美上海、富创精密，持仓占比如下：

股票代码	股票名称	持仓占比	持仓股数（股）	持仓市值（元）
688120	华海清科	10.38%	182.28万	5.87亿
688012	中微公司	9.98%	120.43万	5.64亿
688361	中科飞测	8.58%	112.81万	4.85亿
688072	拓荆科技	6.85%	47.01万	3.88亿
688200	华峰测控	6.15%	66.40万	3.48亿
688037	芯源微	5.87%	75.61万	3.32亿
688126	沪硅产业	5.55%	787.25万	3.14亿
688019	安集科技	5.14%	85.68万	2.91亿
688082	盛美上海	5.12%	67.06万	2.90亿
688409	富创精密	4.66%	86.12万	2.64亿

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

代码	名称	基金规模(亿元) 20260825	近1月日均成交额 (亿元)	净申购(亿元) 20260825	近1周净申购 (亿元)	近1月净申购 (亿元)	基金公司
588170	华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF	441.13	83.35	12.23	57.15	119.84	华夏基金
588710	华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF	115.58	20.58	1.62	7.11	29.43	华泰柏瑞基金
589020	鹏华科创板半导体材料设备主题ETF	54.79	13.59	1.66	5.86	9.04	鹏华基金

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