8月26日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“扫描电子显微镜”的专利。申请公布号为CN122638408A，申请号为CN202610702437.2，申请公布日期为2026年8月25日，申请日期为2026年5月20日，发明人吕肃、陈鲁、朱春涛，专利代理机构深圳鼎合诚知识产权代理有限公司，专利代理师郭燕、彭家恩，分类号H01J37/14、H01J37/244、H01J37/28。
专利摘要显示，本申请公开了一种扫描电子显微镜，属于半导体检测技术领域。该扫描电子显微镜包括：电子束源，用于发射电子束；物镜，用于聚焦电子束，以将电子束聚焦至样品上；物镜包括第一磁路组件和第二磁路组件，第一磁路组件与第二磁路组件之间形成间隙；至少一组探测组件，用于检测电子束与样品相互作用产生的信号，探测组件被配置于间隙内；至少一组探测组件中的每组探测组件包括第一探测单元和第二探测单元，每个第一探测单元设置于背散射电子信号的传输路径上，用于探测背散射电子信号；每个第二探测单元设置于二次电子信号的传输路径上，用于探测二次电子信号。本申请将间隙作为探测区域，且能够对背散射电子信号和二次电子信号进行分别探测。
中科飞测是国内领先的集成电路检测量测设备供应商，依托自主核心技术打破海外厂商长期垄断格局，公司成立于2014年12月31日，于2023年5月19日在上海证券交易所上市，注册及办公地点均位于广东省深圳市。
公司主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，同时覆盖半导体检测、HBM概念、中芯国际概念等热门概念板块。
2026年上半年，中科飞测实现营业收入9.41亿元，在12家同行业可比公司中排名第8，同期行业营收第一名北方华创达201.61亿元、第二名中微公司为66.91亿元，行业平均营收34.46亿元，行业中位数为13.03亿元；营收结构方面，检测设备贡献6.41亿元占比68.17%，量测设备贡献2.66亿元占比28.22%，服务及其他业务收入3348.72万元占比3.56%，软件业务收入53.1万元占比0.06%。当期公司净利润为-1.27亿元，在12家同行业可比公司中排名第11，同期行业净利润第一名北方华创达32.29亿元、第二名中微公司为27.97亿元，行业平均净利润7.31亿元，行业中位数为1.26亿元。
| 指标类别 | 具体指标 | 2026年上半年数值 | 行业排名/总家数 | 行业头部企业数值 | 行业平均 | 行业中位数 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 营收表现 | 总营业收入 | 9.41亿元 | 8/12 | 北方华创201.61亿元、中微公司66.91亿元 | 34.46亿元 | 13.03亿元 |
| 营收构成 | 检测设备收入 | 6.41亿元，占比68.17% | - | - | - | - |
| 营收构成 | 量测设备收入 | 2.66亿元，占比28.22% | - | - | - | - |
| 营收构成 | 服务及其他收入 | 3348.72万元，占比3.56% | - | - | - | - |
| 营收构成 | 软件收入 | 53.1万元，占比0.06% | - | - | - | - |
| 利润表现 | 净利润 | -1.27亿元 | 11/12 | 北方华创32.29亿元、中微公司27.97亿元 | 7.31亿元 | 1.26亿元 |
深圳中科飞测科技股份有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 半导体版图与光学图的对齐方法、设备及存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202611001185.7 | 2026-07-07 | CN122636675A | 2026-08-25 | 齐鑫、张鹏斌、李楠楠、陈鲁 |
| 2 | 消相干照明系统以及通过消相干获取照明光的方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610977127.1 | 2026-07-01 | CN122632464A | 2026-08-25 | 陈鲁、黄有为、杨雪芳、赵哲承 |
| 3 | 一种机台的晶圆产能计算方法、计算装置及计算系统 | 发明专利 | 公布 | CN202610963067.8 | 2026-06-30 | CN122594625A | 2026-08-18 | 荣楠、陈鲁、金炼 |
| 4 | 面型计算系统和面型计算方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610893239.9 | 2026-06-22 | CN122432442A | 2026-07-21 | 郁健、马砚忠、余涛、陈鲁 |
| 5 | 移相同步监控补偿的干涉仪及控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610870545.0 | 2026-06-16 | CN122384663A | 2026-07-14 | 尉佩、马砚忠、陈鲁 |
| 6 | 多层焊柱的高度测量方法、芯片倾角测量方法及多层焊柱的高度测量系统 | 发明专利 | 公布 | CN202610788009.6 | 2026-06-02 | CN122641323A | 2026-08-25 | 陈鲁、马砚忠、张越 |
| 7 | 不同角度下量测点的定位方法、定位系统、小角散射系统和存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202610748017.8 | 2026-05-27 | CN122612641A | 2026-08-21 | 陈鲁、马砚忠、李鹰 |
| 8 | 扫描电子显微镜 | 发明专利 | 公布 | CN202610702437.2 | 2026-05-20 | CN122638408A | 2026-08-25 | 吕肃、陈鲁、朱春涛 |
| 9 | 一种标准片及掩膜版 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610653251.2 | 2026-05-13 | CN122267035A | 2026-06-23 | 吕肃、蒋路翔、陈鲁 |
| 10 | 一种掩膜版缺陷检测方法和相关装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610653893.2 | 2026-05-12 | CN122492647A | 2026-07-31 | 陈鲁、黄有为、杨坚 |
| 11 | 一种图像对位方法、装置及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610637168.6 | 2026-05-11 | CN122223079A | 2026-06-16 | 张鹏斌、韩欣、潘浩、齐鑫、陈鲁 |
| 12 | 芯片角度调整方法、装置及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610612432.0 | 2026-05-06 | CN122497326A | 2026-07-31 | 李炎、李鹰、马砚忠、陈鲁 |
| 13 | 一种检测系统及其自动调焦方法、存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610541586.5 | 2026-04-23 | CN122120580A | 2026-05-29 | 尉佩、马砚忠、陈鲁 |
| 14 | 产品的检测方法、检测系统和服务器 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610451627.1 | 2026-04-07 | CN122415314A | 2026-07-17 | 陈明山、黄有为、陈鲁 |
| 15 | 渲染模型的校准方法、校准系统及存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202610449883.7 | 2026-04-07 | CN122435107A | 2026-07-21 | 柯贤华、黄有为、陈鲁 |
| 16 | 一种大尺寸曲晶圆形貌测量装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610429525.X | 2026-04-02 | CN122305979A | 2026-06-30 | 孙晶露、马砚忠、邓忠寒、陈鲁 |
| 17 | 金属薄膜光声信号零点测量方法、装置、设备及存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202610399241.0 | 2026-03-27 | CN122430249A | 2026-07-21 | 白园园、崔舒涵、马砚忠、陈鲁 |
| 18 | 缓存装置、检测设备及检测工艺 | 发明专利 | 授权 | CN202610378049.3 | 2026-03-26 | CN121941304B | 2026-06-19 | 马砚忠、余涛、王见、陈鲁 |
| 19 | 波场计算方法和装置、散射图像获取方法及可读存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610361993.8 | 2026-03-23 | CN122259619A | 2026-06-23 | 温朗枫、马砚忠、张兴民、陈鲁 |
| 20 | 一种成像装置及成像方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610351971.3 | 2026-03-20 | CN122238387A | 2026-06-19 | 李炎、王旭、马砚忠、陈鲁 |
| 21 | 量测设备及其控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610347630.9 | 2026-03-20 | CN122258790A | 2026-06-23 | 袁明波、王见、马砚忠、陈鲁 |
| 22 | 量测设备及其控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610347632.8 | 2026-03-20 | CN122258791A | 2026-06-23 | 陈鲁、袁明波、马砚忠、王见 |
| 23 | 扫描电子显微镜工作距离的校准方法、扫描电子显微系统和存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610203146.9 | 2026-02-11 | CN122108011A | 2026-05-29 | 邵双方、吕肃、陈鲁 |
| 24 | 结构参数反演方法、测量设备及计算机可读存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610203714.5 | 2026-02-11 | CN122170767A | 2026-06-09 | 李炎、周中正、温朗枫、马砚忠、陈鲁 |
| 25 | 一种膜厚虚拟量测方法、模型训练方法及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610121250.3 | 2026-01-28 | CN122153281A | 2026-06-05 | 任泽林、田旷达、庄旭、张嵩、陈鲁 |
| 26 | 一种根因定位方法、根因定位系统及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610120891.7 | 2026-01-28 | CN122220959A | 2026-06-16 | 田旷达、杨思晓、张嵩、陈鲁 |
| 27 | 开关防护装置及X射线检测设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610097307.0 | 2026-01-23 | CN122050905A | 2026-05-15 | 李炎、邢立娜、马砚忠、陈鲁 |
| 28 | 成像系统以及成像方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610094342.7 | 2026-01-23 | CN122131550A | 2026-06-02 | 姚本溪、郝柏尊、吕肃、陈鲁 |
| 29 | 成像方法以及成像系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610098261.4 | 2026-01-23 | CN122131551A | 2026-06-02 | 吕肃、姚本溪、郝柏尊、陈鲁 |
| 30 | 扫描电子显微镜对中调节方法及相关装置 | 发明专利 | 公布 | CN202610043765.6 | 2026-01-13 | CN121839511A | 2026-04-10 | 吕肃、许涛、陈鲁 |
| 31 | 一种图像测量系统 | 发明专利 | 公布 | CN202512060296.7 | 2025-12-31 | CN121837239A | 2026-04-10 | 刘健鹏、黎广言、张鹏斌、陈鲁 |
| 32 | 一种图像角度确定方法及图像角度确定装置、存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512060747.7 | 2025-12-31 | CN121861000A | 2026-04-14 | 王启坤、黎广言、张鹏斌、陈鲁 |
| 33 | 一种光声测量过程中的刀口校准方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512058972.7 | 2025-12-31 | CN121917461A | 2026-04-24 | 马砚忠、戴鹭楠、陈鲁 |
| 34 | 椭偏测量的修正方法、设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512060067.5 | 2025-12-31 | CN121996924A | 2026-05-08 | 马砚忠、高浩哲、陈鲁 |
| 35 | 一种聚焦偏移标定方法、系统以及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512036837.2 | 2025-12-30 | CN121720376A | 2026-03-24 | 吕肃、商橙、陈鲁 |
| 36 | 膜层测量装置和膜层测量方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512044490.6 | 2025-12-29 | CN121720986A | 2026-03-24 | 孙韬、马砚忠、白园园、陈鲁 |
| 37 | 旋转补偿器及光学测量系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512016763.6 | 2025-12-29 | CN121806272A | 2026-04-07 | 马砚忠、石海林、陈鲁 |
| 38 | 一种晶圆字符串检测方法及检测设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512023232.X | 2025-12-29 | CN121903982A | 2026-04-21 | 董坤玲、杨亭、张鹏斌、陈鲁 |
| 39 | 膜层测量方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511985534.9 | 2025-12-25 | CN121855402A | 2026-04-14 | 陈鲁、马砚忠、孙韬、郑麦杰 |
| 40 | 一种光路装置、光学检测方法以及检测设备 | 发明专利 | 授权 | CN202511960845.X | 2025-12-24 | CN121384814B | 2026-03-31 | 赵康俊、张龙、黄有为、陈鲁 |
| 41 | 一种光路装置、光学检测方法以及检测设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610143618.6 | 2025-12-24 | CN121918317A | 2026-04-24 | 陈鲁、黄有为、张龙 |
| 42 | 一种待测点的位置确定方法及光学检测系统、存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511958659.2 | 2025-12-23 | CN121746485A | 2026-03-27 | 胡荣镇、姜菲菲、贺金龙、陈鲁 |
| 43 | 半导体量测系统和X射线束定位方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511951765.8 | 2025-12-22 | CN121855427A | 2026-04-14 | 马砚忠、陈鲁、李炎、白园园、崔建华 |
| 44 | 一种数据处理方法和相关装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511930385.6 | 2025-12-19 | CN121708098A | 2026-03-20 | 陈鲁、黄有为、张龙、陈忠奎、邹丽君、徐雨哲、孙守强 |
| 45 | 一种AI推理方法、推理系统及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511925037.X | 2025-12-18 | CN121902972A | 2026-04-21 | 贺金龙、陈基荣、陈鲁 |
| 46 | 基于深度学习可自动聚焦和像散校正的成像参数校正方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511930080.5 | 2025-12-18 | CN121921188A | 2026-04-24 | 汪进鸿、吕肃、陈鲁 |
| 47 | 一种样品运动平台及其控制方法、检测设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511889595.5 | 2025-12-12 | CN121828580A | 2026-04-10 | 庞芝亮、吕肃、陈鲁 |
| 48 | 一种坐标校准方法及相关产品 | 发明专利 | 公布 | CN202511821139.7 | 2025-12-04 | CN121639798A | 2026-03-10 | 徐雨哲、张龙、黄有为、陈鲁 |
| 49 | 电子显微镜及其对中偏差校正方法、计算机可读存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511821888.X | 2025-12-04 | CN121748246A | 2026-03-27 | 朱中道、张志强、吕肃、陈鲁 |
| 50 | 探测系统性能检测方法、装置、探测系统及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511818006.4 | 2025-12-02 | CN121721070A | 2026-03-24 | 吕肃、陈子林、陈鲁 |
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