数据显示，8月17日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)遭净赎回1.23亿元，位居当日股票ETF净流出排名35/1295。最新规模53.29亿元，前一日规模51.66亿元，当日资金净流出额占前一日规模的比例为2.38%。

近5日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购4881.18万元，位居股票ETF净流入排名第56/1295。近10日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)遭净赎回9.4亿元，位居股票ETF净流出排名第31/1295。近20日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购14.67亿元，位居股票ETF净流入排名第14/1295。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）成立于2025年8月27日，基金全称为鹏华上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为鹏华科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模方面，截止8月17日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）最新份额为40.64亿份，最新规模为53.29亿元。回顾2025年12月31日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）份额为2.44亿份，规模为2.97亿元。即该基金今年以来份额增加1564.26%，规模增加1695.01%。

流动性方面，截止8月17日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）近20个交易日累计成交金额298.89亿元，日均成交金额14.94亿元；今年以来，150个交易日，累计成交金额641.93亿元，日均成交金额4.28亿元。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）现任基金经理为林嵩。林嵩自2025年8月27日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益162.22%。

最新定期报告显示，鹏华基金（589020）重仓股包括华海清科、中微公司、中科飞测、拓荆科技、华峰测控、芯源微、沪硅产业、盛美上海、安集科技、富创精密，持仓占比如下：

股票代码	股票名称	持仓占比	持仓股数（股）	持仓市值（元）
688120	华海清科	10.54%	86.78万	2.80亿
688012	中微公司	9.95%	56.34万	2.64亿
688361	中科飞测	8.69%	53.62万	2.31亿
688072	拓荆科技	6.54%	20.86万	1.74亿
688200	华峰测控	5.92%	29.92万	1.57亿
688037	芯源微	5.74%	34.69万	1.52亿
688126	沪硅产业	5.44%	361.45万	1.44亿
688082	盛美上海	5.13%	31.49万	1.36亿
688019	安集科技	5.05%	39.43万	1.34亿
688409	富创精密	4.63%	40.10万	1.23亿

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

代码	名称	基金规模(亿元) 20260817	近1月日均成交额 (亿元)	净申购(亿元) 20260817	近1周净申购 (亿元)	近1月净申购 (亿元)	基金公司
588170	华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF	420.56	86.54	-5.51	7.01	94.16	华夏基金
588710	华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF	117.23	22.21	-1.24	0.05	33.40	华泰柏瑞基金
589020	鹏华科创板半导体材料设备主题ETF	53.29	14.68	-1.23	0.49	15.73	鹏华基金

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