截至2026年6月22日 13:53，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨1.71%，成分股欧莱新材上涨15.34%，晶升股份上涨14.82%，华峰测控上涨8.78%，金宏气体，天岳先进等个股跟涨。科创半导体ETF华夏(588170)上涨1.54%， 冲击5连涨。最新价报3.17元。

流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手22.74%，成交29.72亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至6月18日，科创半导体ETF华夏近1周日均成交30.16亿元。

半导体设备延续强势，靶材概念震荡拉升，欧莱新材盘中一度逼近20cm涨停，续创历史新高，消息面上，机构指出，先进制程与3D封装使“金属”从辅助材料跃升为核心耗材。7nm以下制程的金属层数显著增加，HBM4等新一代存储芯片量产使靶材消耗较传统工艺提升3—5倍；Chiplet架构的垂直堆叠更让靶材沉积次数呈指数级增长。

中信证券指出，考虑到设备产能逐步释放以及新产品迭代，半导体设备厂商议价权或有所提升。结合下游市场需求、竞争格局、设备支出强度、公司业绩以及估值情况，建议关注相关标的。

相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中存储芯片含量近80%，先进封装含量在全市场中最高（约59%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357）：跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。

此外，市场轮动加快，可以“配点红利”，通过哑铃策略平衡风险和回报，一端是高成长性或进攻型资产，另一端是低波动防守型资产。

红利低波ETF华夏(159547)：跟踪红利低波指数(H30269.CSI)，指数近1年股息率为4.70%，对应的全收益指数自发布日(2013年12月19日)到25年年底，任意时间持有6个月正收益概率是72%，持有1年、2年、3年正收益概率分别升至83%、89%和95%，适合作为哑铃策略中的防守型资产进行配置，管理费+托管费仅0.2%，在同类产品中费率最低，联接基金A类021482；联接基金C类021483。