6月13日消息，国家知识产权局信息显示，苏州敏芯微电子技术股份有限公司申请一项名为“一种MEMS传感器的形成方法和MEMS传感器”的专利。申请公布号为CN122186947A，申请号为CN202610513957.9，申请公布日期为2026年6月12日，申请日期为2026年4月17日，发明人刘翔天、庄瑞芬、李哲、李诺伦，专利代理机构深圳紫藤知识产权代理有限公司，专利代理师阚梦诗，分类号B81C1/00、B81B7/00、B81B7/02。
专利摘要显示，本申请公开了一种MEMS传感器的形成方法和MEMS传感器，形成方法包括提供第一晶圆和第二晶圆；在第一晶圆的第一面上开设通孔；在第一面上形成第一绝缘层以及在通孔的内壁上形成第二绝缘层；在第一绝缘层上形成初始器件层；对初始器件层进行图案化处理，以形成彼此独立的敏感结构和电连接结构，电连接结构至少部分位于通孔内；去除部分第一绝缘层，以使敏感结构的可动部与第一晶圆之间形成间隙；将敏感结构和电连接结构均与第二晶圆键合；对第一晶圆进行减薄处理，以在第二面露出电连接结构；在第一晶圆的第二面上形成信号引出结构，每个信号引出结构与对应的通孔内的电连接结构连接。本申请能够提高传感器信号传输的稳定性和产品一致性。
敏芯股份成立于2007年9月25日，于2020年8月10日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为江苏苏州。该公司是国内领先的MEMS传感器制造商，具备全产业链优势，投资价值显著。
敏芯股份主营业务为MEMS传感器产品的研发与销售，所属申万行业为电子 - 半导体 - 模拟芯片设计，属于ASIC芯片、小盘成长、智能家居概念板块。
2025年，敏芯股份营业收入6.21亿元，行业排名26/35，远低于第一名汇顶科技的47.36亿元和第二名圣邦股份的38.98亿元，低于行业平均数15.74亿元和中位数9.18亿元。其主营业务中，MEMS压力传感器营收3.01亿元占比48.49%。净利润方面，2025年为3766.3万元，行业排名16/35，高于行业平均数2152.16万元和中位数1688.55万元，但远低于第一名汇顶科技的8.37亿元和第二名圣邦股份的5.34亿元。
苏州敏芯微电子技术股份有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种压力传感器及其形成方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610625439.6 | 2026-05-08 | CN122149725A | 2026-06-05 | 吕萍、李刚 |
| 2 | 一种压力传感器及其形成方法、电子设备 | 发明专利 | 公布 | CN202610625627.9 | 2026-05-08 | CN122149727A | 2026-06-05 | 秦绪文、李刚、吕萍 |
| 3 | 一种压力传感器及其形成方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610625558.1 | 2026-05-08 | CN122149726A | 2026-06-05 | 秦绪文、李刚、吕萍 |
| 4 | 一种MEMS传感器的形成方法和MEMS传感器 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610513956.4 | 2026-04-17 | CN122035779A | 2026-05-15 | 刘翔天、庄瑞芬、李哲、李诺伦 |
| 5 | MEMS传感器的形成方法和MEMS传感器 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610513955.X | 2026-04-17 | CN122035778A | 2026-05-15 | 刘翔天、庄瑞芬、李哲、李诺伦 |
| 6 | 一种MEMS传感器的形成方法和MEMS传感器 | 发明专利 | 公布 | CN202610513957.9 | 2026-04-17 | CN122186947A | 2026-06-12 | 刘翔天、庄瑞芬、李哲、李诺伦 |
| 7 | 一种MEMS传感器的形成方法和MEMS传感器 | 发明专利 | 公布 | CN202610513954.5 | 2026-04-17 | CN122186946A | 2026-06-12 | 刘翔天、庄瑞芬、李哲、李诺伦 |
| 8 | 一种MEMS传感器、晶圆、检测系统及检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511829406.5 | 2025-12-05 | CN121735197A | 2026-03-27 | 李哲、庄瑞芬、李诺伦、毛应林 |
| 9 | 一种麦克风及其制备方法、电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511517806.2 | 2025-10-23 | CN121357449A | 2026-01-16 | 刘青、翁国军 |
| 10 | 一种麦克风及其制备方法 | 发明专利 | 授权 | CN202511517805.8 | 2025-10-23 | CN121013020B | 2026-02-13 | 刘青、翁国军 |
| 11 | 一种加速度传感器制备方法及加速度传感器 | 发明专利 | 授权 | CN202511493869.9 | 2025-10-20 | CN120971759B | 2026-02-13 | 李诺伦、李哲、庄瑞芬 |
| 12 | MEMS惯性传感器及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511473821.1 | 2025-10-15 | CN121297825A | 2026-01-09 | 丁佳顺、庄瑞芬、李哲、李诺伦、毛应林 |
| 13 | 一种MEMS传感器及电子设备 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202511196946.4 | 2025-08-26 | CN120721253B | 2025-11-04 | 李刚、刘青、翁国军 |
| 14 | 一种加速度传感器和电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511101755.5 | 2025-08-07 | CN120927996A | 2025-11-11 | 李诺伦、庄瑞芬、李哲 |
| 15 | 一种MEMS结构的形成方法以及MEMS结构 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510940528.5 | 2025-07-09 | CN120440833B | 2025-09-23 | 刘青、翁国军 |
| 16 | 惯性传感器的形成方法、惯性传感器及电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510908865.6 | 2025-07-02 | CN120403625A | 2025-08-01 | 李哲、庄瑞芬、李诺伦 |
| 17 | 一种微差压传感器 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510711798.9 | 2025-05-29 | CN120403960A | 2025-08-01 | 张敏、梅嘉欣、李刚 |
| 18 | 一种电容器和电子设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520950317.5 | 2025-05-14 | CN224234070U | 2026-05-12 | 仝志昊 |
| 19 | 一种雾化装置及电子烟 | 实用新型 | 授权 | CN202520811452.1 | 2025-04-27 | CN224165715U | 2026-04-28 | 孟燕子 |
| 20 | 一种MEMS麦克风及电子设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520232166.X | 2025-02-13 | CN223613481U | 2025-11-28 | 杨玉婷、梅嘉欣 |
| 21 | 一种芯片的封装结构及电子设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520232435.2 | 2025-02-13 | CN223624997U | 2025-12-02 | 唐行明 |
| 22 | 一种芯片封装结构及电子设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520158046.X | 2025-01-23 | CN223674323U | 2025-12-16 | 唐行明 |
| 23 | 一种滤波器电路芯片、麦克风组件的封装结构及麦克风 | 实用新型 | 授权 | CN202520034271.2 | 2025-01-06 | CN223714157U | 2025-12-23 | 仝志昊、孙秉坤 |
| 24 | MEMS传感器装置和半导体器件 | 实用新型 | 授权 | CN202422855541.4 | 2024-11-22 | CN223422400U | 2025-10-10 | 唐行明 |
| 25 | 一种压力传感器及电子设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422731569.7 | 2024-11-08 | CN223376796U | 2025-09-23 | 孟燕子 |
| 26 | 一种微差压芯片、晶圆结构及电子设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422730138.9 | 2024-11-08 | CN223458105U | 2025-10-21 | 孟燕子 |
| 27 | MEMS传感器封装结构 | 实用新型 | 授权 | CN202422724915.9 | 2024-11-08 | CN223522297U | 2025-11-07 | 杨玉婷、翁国军 |
| 28 | 一种基于MEMS工艺的六维力传感器 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202411565093.2 | 2024-11-05 | CN119063897A | 2024-12-03 | 宫凯勋、李刚、吕萍 |
| 29 | 一种MEMS芯片及MEMS麦克风 | 实用新型 | 授权 | CN202422680065.7 | 2024-11-04 | CN223515047U | 2025-11-04 | 刘青、孟燕子 |
| 30 | 六轴力传感器及其制造方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202411375360.X | 2024-09-30 | CN118882901B | 2025-05-30 | 宫凯勋、吕萍、李刚 |
| 31 | 力传感器的封装结构及其制造方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202411295549.8 | 2024-09-18 | CN118817125B | 2025-01-24 | 庄瑞芬、李刚 |
| 32 | 一种防水透气结构、制造方法及封装结构 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202411246496.0 | 2024-09-06 | CN118754051B | 2025-01-03 | 刘青 |
| 33 | 一种压力传感器及其制造方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202411159728.9 | 2024-08-22 | CN118684187B | 2024-11-15 | 吕萍、李刚 |
| 34 | 传感器及电子设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422048240.0 | 2024-08-22 | CN222974892U | 2025-06-13 | 姜成颖 |
| 35 | 惯性传感器芯片及其制造方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202411109804.5 | 2024-08-14 | CN118619195B | 2024-11-15 | 李哲、庄瑞芬、李诺伦 |
| 36 | 一种三轴加速度计及电子设备 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202411090946.1 | 2024-08-09 | CN118624942B | 2024-11-12 | 李哲、庄瑞芬、李诺伦 |
| 37 | 传感器集成结构、芯片和制作方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202410953978.3 | 2024-07-17 | CN118500483B | 2024-11-12 | 李哲、庄瑞芬、李诺伦 |
| 38 | MEMS芯片和麦克风 | 实用新型 | 授权 | CN202421642286.9 | 2024-07-11 | CN222795169U | 2025-04-25 | 孟燕子、康森先 |
| 39 | 加速度传感器结构及其制造方法、加速度传感器 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202410888184.3 | 2024-07-04 | CN118425559B | 2024-10-29 | 李诺伦、庄瑞芬、李刚、朱启发 |
| 40 | 微生物检测板卡 | 实用新型 | 授权 | CN202421475085.4 | 2024-06-26 | CN222781612U | 2025-04-22 | 陆永存 |
| 41 | 微差压芯片的制造方法与微差压芯片 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202410788404.5 | 2024-06-19 | CN118359167B | 2024-10-18 | 孟燕子、康森先、刘青 |
| 42 | 一种MEMS芯片及电子设备 | 实用新型 | 授权 | CN202421065471.6 | 2024-05-16 | CN222293613U | 2025-01-03 | 孟燕子、康森先 |
| 43 | 一种微差压传感器及封装结构 | 实用新型 | 授权 | CN202421067288.X | 2024-05-16 | CN222299022U | 2025-01-03 | 孟燕子、康森先 |
| 44 | 一种MEMS芯片及电子设备 | 实用新型 | 授权 | CN202421066370.0 | 2024-05-16 | CN222293614U | 2025-01-03 | 刘青、康森先 |
| 45 | 麦克风组件的封装结构与麦克风 | 实用新型 | 授权 | CN202421065294.1 | 2024-05-16 | CN222302019U | 2025-01-03 | 杨玉婷、李刚 |
| 46 | 一种倒装式MEMS力传感器芯片 | 实用新型 | 授权 | CN202420869932.9 | 2024-04-25 | CN222618077U | 2025-03-14 | 李刚、吕萍 |
| 47 | MEMS传感器封装结构及MEMS传感器 | 实用新型 | 授权 | CN202420755233.1 | 2024-04-12 | CN222647651U | 2025-03-21 | 俞晓、李刚 |
| 48 | 一种加速度计和电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410396563.0 | 2024-04-01 | CN120820732A | 2025-10-21 | 何文涛、陈福顺、宁远、庄瑞芬、杨进、李诺伦 |
| 49 | 一种芯片封装结构 | 实用新型 | 授权 | CN202420644839.8 | 2024-03-29 | CN222602956U | 2025-03-11 | 唐行明 |
| 50 | 声电转换结构及其制作方法、麦克风 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202410312080.8 | 2024-03-19 | CN117915251B | 2024-06-18 | 刘青、孟燕子、康森先 |
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