05月20日消息，截止11:15，半导体设备板块活跃，绿通科技、利和兴、华源控股涨停，苏大维格（维权）、晶盛机电、快克智能、华工科技、长川科技（维权）、金海通、国林科技等个股涨幅居前。

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