5月6日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）收盘涨2.13%，成交额3.07亿元。

半导体设备ETF华夏（562590）成立于2023年10月9日，基金全称为华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。半导体设备ETF华夏（562590）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率。

规模方面，截止4月30日，半导体设备ETF华夏（562590）最新份额为13.62亿份，最新规模为28.83亿元。回顾2025年12月31日，半导体设备ETF华夏（562590）份额为4.90亿份，规模为7.91亿元。即该基金今年以来份额增加178.08%，规模增加264.26%。

流动性方面，截止5月6日，半导体设备ETF华夏（562590）近20个交易日累计成交金额37.26亿元，日均成交金额1.86亿元；今年以来，78个交易日，累计成交金额140.04亿元，日均成交金额1.80亿元。

半导体设备ETF华夏（562590）现任基金经理为单宽之。单宽之自2024年6月11日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益132.24%。

最新定期报告显示，半导体设备ETF华夏（562590）重仓股包括中微公司、北方华创、拓荆科技、长川科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、南大光电、江丰电子、安集科技，持仓占比如下。

股票代码	股票名称	持仓占比	持仓股数（股）	持仓市值（元）
688012	中微公司	14.88%	120.28万	3.69亿
002371	北方华创	12.95%	71.78万	3.21亿
688072	拓荆科技	7.38%	49.38万	1.83亿
300604	长川科技	6.35%	130.02万	1.57亿
688120	华海清科	5.09%	72.45万	1.26亿
688126	沪硅产业	3.81%	558.07万	9431.45万
688361	中科飞测	3.77%	61.46万	9345.53万
300346	南大光电	3.69%	202.38万	9135.52万
300666	江丰电子	3.49%	62.10万	8645.56万
688019	安集科技	3.48%	34.35万	8610.16万

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