2月24日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）涨0.28%，成交额3998.01万元。当日份额减少400.00万份，最新份额为4.26亿份，近20个交易日份额增加1800.00万份。最新资产净值计算值为6.15亿元。

科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为鹏华基金管理有限公司，基金经理为林嵩，成立（2025-08-27）以来回报为44.35%，近一个月回报为-5.01%。

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