数据显示，2月12日，富国中证芯片产业ETF(516640)遭净赎回469.79万元，位居当日股票ETF净流出排名242/1127。最新规模14.92亿元，前一日规模14.63亿元，当日资金净流出额占前一日规模的比例为0.32%。
近5日，富国中证芯片产业ETF(516640)遭净赎回1877.11万元，位居股票ETF净流出排名第235/1127。近10日，富国中证芯片产业ETF(516640)获净申购2875.13万元，位居股票ETF净流入排名第195/1127。近20日，富国中证芯片产业ETF(516640)获净申购1.64亿元，位居股票ETF净流入排名第167/1127。
富国中证芯片产业ETF（516640）成立于2021年8月19日，基金全称为富国中证芯片产业交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为富国中证芯片产业ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。富国中证芯片产业ETF（516640）跟踪标的指数为芯片产业（H30007）。
规模方面，截止2月12日，富国中证芯片产业ETF（516640）最新份额为12.56亿份，最新规模为14.92亿元。回顾2025年12月31日，富国中证芯片产业ETF（516640）份额为13.14亿份，规模为13.94亿元。即该基金今年以来份额减少4.41%，规模增加7.05%。
流动性方面，截止2月12日，富国中证芯片产业ETF（516640）近20个交易日累计成交金额20.93亿元，日均成交金额1.05亿元；今年以来，29个交易日，累计成交金额31.26亿元，日均成交金额1.08亿元。
富国中证芯片产业ETF（516640）现任基金经理为张圣贤。张圣贤自2021年8月19日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益18.79%。
最新定期报告显示，富国基金（516640）重仓股包括寒武纪、中芯国际、海光信息、北方华创、兆易创新、澜起科技、中微公司、豪威集团、紫光国微、拓荆科技，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688256 | 寒武纪 | 9.29% | 9.55万 | 1.29亿 |
| 688981 | 中芯国际 | 9.19% | 104.24万 | 1.28亿 |
| 688041 | 海光信息 | 7.81% | 48.50万 | 1.09亿 |
| 002371 | 北方华创 | 7.44% | 22.58万 | 1.04亿 |
| 603986 | 兆易创新 | 5.36% | 34.84万 | 7464.08万 |
| 688008 | 澜起科技 | 5.05% | 59.74万 | 7037.37万 |
| 688012 | 中微公司 | 4.93% | 25.21万 | 6874.43万 |
| 603501 | 豪威集团 | 3.98% | 44.04万 | 5545.13万 |
| 002049 | 紫光国微 | 2.06% | 36.36万 | 2865.69万 |
| 688072 | 拓荆科技 | 1.99% | 8.42万 | 2777.94万 |
跟踪芯片产业（H30007）的ETF包括易方达中证芯片产业ETF（516350）、富国中证芯片产业ETF（516640）、天弘中证芯片产业ETF（159310）、芯片ETF基金（159599）、汇添富中证芯片产业ETF（516920）等，规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20260212 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20260212 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 516350 | 易方达中证芯片产业ETF | 15.88 | 0.71 | 0.0000 | 0.10 | 2.22 | 易方达基金 |
| 516640 | 富国中证芯片产业ETF | 14.92 | 1.05 | -0.05 | -0.19 | 0.89 | 富国基金 |
| 159310 | 天弘中证芯片产业ETF | 12.38 | 0.17 | 0.05 | 0.13 | 0.68 | 天弘基金 |
| 159599 | 芯片ETF基金 | 12.15 | 0.98 | -0.21 | -0.54 | 0.43 | 东财基金 |
| 516920 | 汇添富中证芯片产业ETF | 7.53 | 0.58 | -0.11 | -0.34 | 0.04 | 汇添富基金 |
| 159560 | 景顺长城中证芯片产业ETF | 3.80 | 0.16 | 0.0000 | -0.06 | 0.01 | 景顺长城基金 |
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