数据显示，2月6日，万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)获净申购427.47万元，位居当日股票ETF净流入排名226/1125。最新规模11.05亿元，前一日规模11.08亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为0.39%。

近5日，万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)遭净赎回2971.17万元，位居股票ETF净流出排名第114/1125。近10日，万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)遭净赎回305.62万元，位居股票ETF净流出排名第351/1125。近20日，万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)获净申购3.44亿元，位居股票ETF净流入排名第126/1125。

万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）成立于2024年7月24日，基金全称为万家中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为万家中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。

规模方面，截止2月6日，万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）最新份额为5.21亿份，最新规模为11.05亿元。回顾2025年12月31日，万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）份额为3.07亿份，规模为5.61亿元。即该基金今年以来份额增加69.81%，规模增加96.89%。

流动性方面，截止2月6日，万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）近20个交易日累计成交金额15.55亿元，日均成交金额7776.33万元；今年以来，25个交易日，累计成交金额20.01亿元，日均成交金额8004.04万元。

万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）现任基金经理为吴宜蓉。吴宜蓉自2025年9月30日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益15.02%。

最新定期报告显示，万家基金（159327）重仓股包括北方华创、中微公司、拓荆科技、长川科技、沪硅产业、华海清科、中科飞测、南大光电、安集科技、芯源微，持仓占比如下：

股票代码	股票名称	持仓占比	持仓股数（股）	持仓市值（元）
002371	北方华创	14.04%	17.17万	7880.15万
688012	中微公司	13.44%	27.66万	7543.44万
688072	拓荆科技	6.95%	11.82万	3900.20万
300604	长川科技	5.61%	31.10万	3150.74万
688126	沪硅产业	5.18%	134.24万	2905.02万
688120	华海清科	4.64%	17.34万	2602.64万
688361	中科飞测	4.01%	14.71万	2250.48万
300346	南大光电	3.70%	48.41万	2076.74万
688019	安集科技	3.21%	8.27万	1803.00万
688037	芯源微	2.99%	11.29万	1677.12万

跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

代码	名称	基金规模(亿元) 20260206	近1月日均成交额 (亿元)	净申购(亿元) 20260206	近1周净申购 (亿元)	近1月净申购 (亿元)	基金公司
159516	国泰中证半导体材料设备主题ETF	207.73	21.37	1.22	6.65	102.53	国泰基金
159558	易方达中证半导体材料设备主题ETF	47.55	3.07	1.10	1.43	27.99	易方达基金
560780	广发中证半导体材料设备ETF	39.17	2.26	-0.06	-1.75	23.38	广发基金
562590	华夏中证半导体材料设备主题ETF	26.91	2.37	-0.04	-1.97	18.56	华夏基金
159327	万家中证半导体材料设备主题ETF	11.05	0.81	0.04	-0.30	4.61	万家基金

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