1月30日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）收盘跌0.16%，成交额18.07亿元。

半导体设备ETF（159516）成立于2023年7月19日，基金全称为国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为国泰中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率。

规模方面，截止1月29日，半导体设备ETF（159516）最新份额为112.98亿份，最新规模为207.90亿元。回顾2025年12月31日，半导体设备ETF（159516）份额为58.53亿份，规模为90.11亿元。即该基金今年以来份额增加93.04%，规模增加130.71%。

流动性方面，截止1月30日，半导体设备ETF（159516）近20个交易日累计成交金额443.19亿元，日均成交金额22.16亿元；今年以来，20个交易日，累计成交金额443.19亿元，日均成交金额22.16亿元。

半导体设备ETF（159516）现任基金经理为艾小军。艾小军自2023年7月19日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益86.16%。

最新定期报告显示，半导体设备ETF（159516）重仓股包括北方华创、中微公司、拓荆科技、长川科技、沪硅产业、华海清科、中科飞测、南大光电、安集科技、芯源微，持仓占比如下。

股票代码	股票名称	持仓占比	持仓股数（股）	持仓市值（元）
002371	北方华创	14.47%	284.08万	13.04亿
688012	中微公司	11.93%	394.09万	10.75亿
688072	拓荆科技	7.08%	193.27万	6.38亿
300604	长川科技	5.76%	513.81万	5.19亿
688126	沪硅产业	5.31%	2211.13万	4.78亿
688120	华海清科	4.75%	286.67万	4.28亿
688361	中科飞测	4.11%	242.06万	3.70亿
300346	南大光电	3.78%	793.62万	3.40亿
688019	安集科技	3.26%	134.65万	2.93亿
688037	芯源微	3.06%	185.50万	2.75亿

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