1月26日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）跌4.06%，报1.867元，成交额17.64亿元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创截止午盘跌2.79%，中微公司跌3.41%，拓荆科技跌4.44%，长川科技跌7.14%，沪硅产业跌2.61%，华海清科跌2.10%，中科飞测跌2.84%，南大光电跌4.00%，安集科技跌3.32%，芯源微跌5.69%。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为93.99%，近一个月回报为23.08%。

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