1月24日消息，国家知识产权局信息显示，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司申请一项名为“晶圆承载装置及探针台”的专利，授权公告号CN223829813U，授权公告日为2026年1月23日。申请号为CN202520090051.1，申请公布日期为2026年1月23日，申请日期为2025年1月14日，发明人姜威、韦日文、林生财，专利代理机构深圳市世纪恒程知识产权代理事务所，专利代理师鲁迪娟，分类号H10P72/78、H10P74/20、G01R1/04。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种晶圆承载装置及探针台，涉及半导体加工技术领域。其中，承载组件包括主体、载台和容置槽，载台包括承载面和吸盘，承载面设有定位孔和多个密孔，吸盘安装于定位孔，密孔和吸盘均用于吸附晶圆；容置槽设置于载台的外侧，并沿载台的周向延伸设置，晶圆的边缘设置有边框，容置槽用于容置边框；载台安装于主体，主体包括相互独立的第一气路和第二气路，第一气路与密孔连通，第二气路与吸盘连通；负压组件包括第一负压管和第二负压管，第一负压管与第一气路连通，第二负压管与第二气路连通。通过这种设置，在晶圆发生不同程度的翘曲时均能够将晶圆平整地吸附于承载面，从而保证了测试结果的准确性。
天眼查数据显示，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司成立日期2003年12月25日，法定代表人何沁修，所属行业为专用设备制造业，企业规模为中型，注册资本4172.7274万人民币，实缴资本3129.5455万人民币，注册地址为深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区。矽电半导体设备（深圳）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目83次，财产线索方面有商标信息46条，专利信息454条，拥有行政许可16个。
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 传动平台 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511568602.1 | 2025-10-30 | CN121199932A | 2025-12-26 | 吴贵阳 |
| 2 | 一种载片机构、晶圆测试装置及其控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511350025.9 | 2025-09-22 | CN120847444A | 2025-10-28 | 吴贵阳 |
| 3 | 晶圆测试针座、晶圆测试装置及针座控制方法 | 发明专利 | 授权 | CN202511350027.8 | 2025-09-22 | CN120847445B | 2026-01-16 | 吴贵阳 |
| 4 | 紧凑型芯片料盒识别装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511303144.9 | 2025-09-12 | CN121084940A | 2025-12-09 | 刘伟豪、李景均 |
| 5 | 仪表放大器的增益规整化配置电路及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511260343.6 | 2025-09-04 | CN121217068A | 2025-12-26 | 罗国清、王业文、王胜利、刘兴波 |
| 6 | 电气自锁电路及其驱动方法、装置、测试设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511209148.0 | 2025-08-27 | CN121261693A | 2026-01-02 | 陈朝巍 |
| 7 | 双轴驱动平台 | 发明专利 | 公布 | CN202511104756.5 | 2025-08-07 | CN121163797A | 2025-12-19 | 曾凡贵 |
| 8 | 探针台及监测方法 | 发明专利 | 授权 | CN202510999199.1 | 2025-07-21 | CN120594897B | 2025-11-11 | 吴贵阳 |
| 9 | 探针台及测试系统 | 发明专利 | 授权 | CN202510999202.X | 2025-07-21 | CN120507548B | 2025-11-28 | 吴贵阳、王胜利、李景均 |
| 10 | 设备测量方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510980144.6 | 2025-07-16 | CN120908640A | 2025-11-07 | 吴贵阳、郑鹏、王鹏、胡翔 |
| 11 | 芯片载具的上下料设备及芯片测试系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510805178.1 | 2025-06-17 | CN120308607A | 2025-07-15 | 李景均、马泳坤 |
| 12 | 步进电机控制电路以及升降装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510557372.2 | 2025-04-29 | CN120474398A | 2025-08-12 | 朱俊鹏、李龙 |
| 13 | 多通道光源控制器校准方法、装置、设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510478647.3 | 2025-04-16 | CN120264555A | 2025-07-04 | 黄艺谦、王业文、李龙、黄伟强 |
| 14 | 接线测试方法、测试系统及电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510476434.7 | 2025-04-16 | CN120385956A | 2025-07-29 | 王业文、林创伟 |
| 15 | 测试机 | 外观专利 | 授权 | CN202530206536.8 | 2025-04-16 | CN309682115S | 2025-12-19 | 刘伟豪 |
| 16 | 一种摆臂弹片调整方法及装置 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202510451370.5 | 2025-04-11 | CN119972584B | 2025-07-01 | 吴贵阳 |
| 17 | 基于线性函数的摆臂弹片调节方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202510451374.3 | 2025-04-11 | CN119972585B | 2025-07-01 | 吴贵阳 |
| 18 | 晶圆测试用探针针座 | 外观专利 | 授权 | CN202530117478.1 | 2025-03-12 | CN309594190S | 2025-11-11 | 颜建武 |
| 19 | 晶圆测试用探针针座 | 外观专利 | 授权 | CN202530117434.9 | 2025-03-12 | CN309594189S | 2025-11-11 | 李景均 |
| 20 | 晶圆测试用探针针座 | 外观专利 | 授权 | CN202530117420.7 | 2025-03-12 | CN309638270S | 2025-11-28 | 颜建武 |
| 21 | 一种多工位摆臂吸嘴机构测量和调整方法及装置 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510180974.0 | 2025-02-19 | CN119635725B | 2025-05-06 | 吴贵阳、罗志长、周颖达 |
| 22 | 探针台 | 实用新型 | 授权 | CN202520265133.5 | 2025-02-18 | CN223692421U | 2025-12-19 | 林生财、聂勇 |
| 23 | 载片装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520241229.8 | 2025-02-14 | CN223693114U | 2025-12-19 | 林生财 |
| 24 | 晶圆承载装置及探针台 | 实用新型 | 授权 | CN202520090051.1 | 2025-01-14 | CN223829813U | 2026-01-23 | 姜威、韦日文、林生财 |
| 25 | 测试方法、装置、设备及计算机可读取存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510032581.5 | 2025-01-09 | CN119986294A | 2025-05-13 | 吴贵阳 |
| 26 | 测试装置、测试设备以及测试方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202510032586.8 | 2025-01-09 | CN119993853B | 2025-10-17 | 吴贵阳、周颖达、李鑫洋、厉辉 |
| 27 | 一种晶圆检测设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520041100.2 | 2025-01-08 | CN223827717U | 2026-01-23 | 曾凡贵、林生财、聂勇 |
| 28 | 一种晶圆冷却装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423231744.2 | 2024-12-26 | CN223693103U | 2025-12-19 | 郑鹏、林生财、李长江 |
| 29 | 不良晶粒剔除设备 | 实用新型 | 授权 | CN202423161821.1 | 2024-12-19 | CN223683994U | 2025-12-19 | 胡阳辉、易仲、李长江 |
| 30 | 下料装置及测试分类一体机 | 实用新型 | 授权 | CN202423045282.5 | 2024-12-09 | CN223684028U | 2025-12-19 | 胡耿涛、魏纯、钟夏华 |
| 31 | 隔离变压模块的控制装置以及电控系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411608883.4 | 2024-11-12 | CN119695772A | 2025-03-25 | 罗国清、柯权珍、徐仲亮 |
| 32 | 一种光源控制电路和光源控制系统 | 实用新型 | 授权 | CN202422609156.1 | 2024-10-28 | CN223452134U | 2025-10-17 | 黄艺谦、李龙、卢健强 |
| 33 | 探针固定结构及探针台 | 实用新型 | 授权 | CN202422577072.4 | 2024-10-24 | CN223449990U | 2025-10-17 | 王伟谦 |
| 34 | 一种晶圆片同心定位装置及定位方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411459894.0 | 2024-10-18 | CN119480742A | 2025-02-18 | 钟夏华、郑鹏、魏纯 |
| 35 | 半导体处理设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422504795.1 | 2024-10-16 | CN223333753U | 2025-09-12 | 胡耿涛、林生财 |
| 36 | 半导体处理设备及半导体处理方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202411446940.3 | 2024-10-16 | CN119208210B | 2025-10-17 | 胡耿涛、林生财 |
| 37 | 芯片分选方法及半导体加工设备 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202411378468.4 | 2024-09-30 | CN118893021B | 2024-12-13 | 詹文杰、刘子敏、杨应俊、龙武全、李屹、吴贵阳 |
| 38 | 芯片分选方法及半导体加工设备 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202411378467.X | 2024-09-30 | CN118893020B | 2024-12-13 | 吴贵阳、詹文杰、刘子敏、杨应俊、龙武全、李屹 |
| 39 | 分选设备 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202411378469.9 | 2024-09-30 | CN118893022B | 2025-01-14 | 车奎、沈杰、杨应俊、孟路路、林毓涛、张力力、王杰、李江峰 |
| 40 | 转动装置及门体组件 | 实用新型 | 授权 | CN202422330515.X | 2024-09-24 | CN223202924U | 2025-08-08 | 林生财、聂勇 |
| 41 | 开盒装置及下沉式开盒系统 | 实用新型 | 授权 | CN202422329618.4 | 2024-09-24 | CN223333751U | 2025-09-12 | 林生财、郑鹏 |
| 42 | 一种吸嘴压力测试装置及方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202411296055.1 | 2024-09-18 | CN118817288B | 2024-12-10 | 吴贵阳 |
| 43 | 一种半导体测试方法、电子设备、半导体检测系统及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411288127.8 | 2024-09-14 | CN119044718A | 2024-11-29 | 吴贵阳、刘兴波 |
| 44 | 测试装置及抽测设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422266647.0 | 2024-09-14 | CN223155159U | 2025-07-25 | 沈杰 |
| 45 | 抽测设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422266994.3 | 2024-09-14 | CN223155980U | 2025-07-25 | 沈杰 |
| 46 | 分选机 | 外观专利 | 授权 | CN202430587508.0 | 2024-09-13 | CN309335889S | 2025-06-13 | 张力力、杨应俊 |
| 47 | 清洁装置及分选机 | 实用新型 | 授权 | CN202422262744.2 | 2024-09-13 | CN223117394U | 2025-07-18 | 孟路路、杨应俊 |
| 48 | 定位装置及生产线 | 实用新型 | 授权 | CN202422222743.5 | 2024-09-11 | CN223123887U | 2025-07-18 | 胡耿涛、林生财 |
| 49 | 平台支撑补偿方法和装置、支撑平台、电子设备及介质 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202411227503.2 | 2024-09-03 | CN119133017B | 2025-10-17 | 吴贵阳 |
| 50 | 防护机构及检测装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422146033.9 | 2024-09-02 | CN223157410U | 2025-07-25 | 曾凡贵、杜佩珩 |
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