1月16日，截止午间收盘，半导体设备ETF基金（159327）涨2.35%，报2.313元，成交额1.01亿元。半导体设备ETF基金（159327）重仓股方面，中微公司截止午盘涨2.54%，北方华创涨2.98%，长川科技跌1.33%，沪硅产业涨0.31%，华海清科涨5.69%，拓荆科技涨2.65%，南大光电跌2.15%，安集科技涨2.25%，中科飞测涨7.79%，芯源微涨5.65%。

半导体设备ETF基金（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为万家基金管理有限公司，基金经理为吴宜蓉，成立（2024-07-24）以来回报为125.03%，近一个月回报为25.57%。

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