1月13日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）收盘跌3.18%，成交额15.10亿元。

半导体设备ETF（159516）成立于2023年7月19日，基金全称为国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为国泰中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率。

规模方面，截止1月12日，半导体设备ETF（159516）最新份额为75.65亿份，最新规模为137.83亿元。回顾2025年12月31日，半导体设备ETF（159516）份额为58.53亿份，规模为90.11亿元。即该基金今年以来份额增加29.25%，规模增加52.95%。

流动性方面，截止1月13日，半导体设备ETF（159516）近20个交易日累计成交金额219.36亿元，日均成交金额10.97亿元；今年以来，7个交易日，累计成交金额129.37亿元，日均成交金额18.48亿元。

半导体设备ETF（159516）现任基金经理为艾小军。艾小军自2023年7月19日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益79.84%。

最新定期报告显示，半导体设备ETF（159516）重仓股包括中微公司、北方华创、长川科技、沪硅产业、华海清科、拓荆科技、南大光电、安集科技、中科飞测、芯源微，持仓占比如下。

股票代码	股票名称	持仓占比	持仓股数（股）	持仓市值（元）
688012	中微公司	16.44%	456.20万	13.64亿
002371	北方华创	13.91%	255.25万	11.55亿
300604	长川科技	5.56%	465.00万	4.61亿
688126	沪硅产业	5.41%	1738.89万	4.49亿
688120	华海清科	5.17%	260.65万	4.29亿
688072	拓荆科技	4.66%	148.75万	3.87亿
300346	南大光电	3.80%	727.04万	3.16亿
688019	安集科技	3.36%	121.90万	2.78亿
688361	中科飞测	3.26%	233.40万	2.71亿
688037	芯源微	3.02%	168.41万	2.51亿

风险提示：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI大模型自动发布，任何在本文出现的信息（包括但不限于个股、评论、预测、图表、指标、理论、任何形式的表述等）均只作为参考，不构成个人投资建议。

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