2月24日，截止午间收盘，半导体设备ETF基金（159327）涨0.91%，报1.330元，成交额1953.60万元。半导体设备ETF基金（159327）重仓股方面，北方华创截止午盘涨0.79%，中微公司涨2.62%，沪硅产业涨0.00%，华海清科涨1.87%，南大光电涨0.18%，拓荆科技涨4.01%，长川科技跌0.28%，TCL科技跌0.41%，中科飞测涨0.19%，鼎龙股份涨0.10%。

半导体设备ETF基金（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为万家基金管理有限公司，基金经理为贺方舟，成立（2024-07-24）以来回报为31.91%，近一个月回报为10.26%。

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