12月30日消息，国家知识产权局信息显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“去除基板上的颗粒或光刻胶的方法及装置”的专利，授权公告号CN115803848B，授权公告日为2025年12月30日。申请公布号为CN115803848A，申请号为CN202080099666.0，申请公布日期为2025年12月30日，申请日期为2020年4月21日，发明人张晓燕、王文军、陈福平、王俊、贾社娜、王德云、王晖、夏光煜、王鹤，专利代理机构上海专利商标事务所有限公司，专利代理师骆希聪，分类号H01L21/00、H01L21/67。
专利摘要显示，本发明提供了一种去除基板上的颗粒或光刻胶的方法及装置。在一个实施例中，一种方法包括以下步骤：将一片或多片基板传输至容纳于DIO3槽的DIO3溶液中；所述一片或多片基板在DIO3槽中处理完后，将所述一片或多片基板从DIO3槽中取出并传输至容纳于SPM槽的SPM溶液中；所述一片或多片基板在SPM槽中处理完后，将所述一片或多片基板从SPM槽中取出并进行冲洗；以及将所述一片或多片基板传输至一个或多个单片清洗腔中以执行单片基板清洗和干燥工艺。本发明将DIO3和SPM结合在一个清洗程序中，可以去除颗粒或光刻胶，尤其是去除被中剂量或高剂量离子注入处理过的光刻胶。
天眼查数据显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司成立日期1970年1月14日，法定代表人HUI WANG，所属行业为专用设备制造业，企业规模为大型，注册资本47989.2514万人民币，实缴资本37264.99万人民币，注册地址为中国（上海）自由贸易试验区丹桂路999弄5、6、7、8号全幢。盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目171次，财产线索方面有商标信息38条，专利信息662条，拥有行政许可31个。
盛美半导体设备（上海）股份有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 基片湿法处理装置及基片处理设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511696240.4 | 2025-11-19 | CN121149062A | 2025-12-16 | 李亚洲、贾社娜、王俊、林金木、方波、李昱 |
| 2 | 基板处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511376375.2 | 2025-09-25 | CN120878605A | 2025-10-31 | 苏政、贾社娜、邓新平 |
| 3 | 供液装置、清洗装置、清洗方法及计算机可读介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511292108.7 | 2025-09-11 | CN120767230A | 2025-10-10 | 苏政、贾社娜、李彬、邓新平 |
| 4 | 处理液供给机构及涂覆装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511292109.1 | 2025-09-11 | CN120790418A | 2025-10-17 | 程成、吴均、赵中旭、徐飞、王坚、李康植 |
| 5 | 排气用防腐组件及炉管设备 | 发明专利 | 授权 | CN202511100391.9 | 2025-08-07 | CN120591755B | 2025-12-12 | 段航、周冬成 |
| 6 | 单片晶圆干燥设备及干燥方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510873904.3 | 2025-06-27 | CN120403215A | 2025-08-01 | 谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、李兴、宗源 |
| 7 | 薄膜沉积装置及薄膜沉积方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510874680.8 | 2025-06-27 | CN120366747B | 2025-09-23 | 戴明宇、周培垄、李天天、费红财、陈更明、成康、金京俊 |
| 8 | 基片盒存储装置、工作方法及基片处理设备 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202510780743.3 | 2025-06-12 | CN120319704B | 2025-10-17 | 许创威、贾社娜、张大海 |
| 9 | 双级溅液监测系统、方法及计算机可读介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510594876.1 | 2025-05-09 | CN120127033B | 2025-08-15 | 谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、宗源 |
| 10 | 晶圆卡匣调整装置及晶圆浸泡装置 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510526003.7 | 2025-04-25 | CN120072715B | 2025-07-25 | 王双五、苏飘、朱国辉、宗源、胡海波、张晓燕 |
| 11 | 化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510432151.2 | 2025-04-08 | CN119934438B | 2025-08-08 | 陶泽魏、胡海波、张晓燕 |
| 12 | 化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510432151.2 | 2025-04-08 | CN119934438B | 2025-08-08 | 陶泽魏、胡海波、张晓燕 |
| 13 | 炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510312070.9 | 2025-03-17 | CN119824390B | 2025-07-11 | 杨扬、贾社娜、张大海 |
| 14 | 炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510312070.9 | 2025-03-17 | CN119824390B | 2025-07-11 | 杨扬、贾社娜、张大海 |
| 15 | 进气管及炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510295477.5 | 2025-03-13 | CN119800332B | 2025-07-04 | 蒯蔚、周冬成、蒋攀辉 |
| 16 | 进气管及炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510295477.5 | 2025-03-13 | CN119800332B | 2025-07-04 | 蒯蔚、周冬成、蒋攀辉 |
| 17 | 基板处理设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202510114602.8 | 2025-01-23 | CN120143565A | 2025-06-13 | 徐飞、李康植、吴均、杨仁政、程成、王坚 |
| 18 | 晶圆缓冲层边缘的清洗方法和设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510066274.9 | 2025-01-16 | CN119480619B | 2025-04-25 | 戴奔、刘畅、仰庶、张晓燕 |
| 19 | 晶圆缓冲层边缘的清洗方法和设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510066274.9 | 2025-01-16 | CN119480619B | 2025-04-25 | 戴奔、刘畅、仰庶、张晓燕 |
| 20 | 基板处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411383228.3 | 2024-09-29 | CN120033106A | 2025-05-23 | 王晖、陶晓峰、黄天宇、韩阳、何西登、贾社娜、刘文博、张晓燕、胡海波、刘阳、吴杨 |
| 21 | 用于方形基板的卡盘 | 发明专利 | 公布 | CN202411358048.X | 2024-09-26 | CN121192044A | 2025-12-23 | 王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华 |
| 22 | 支撑装置及基板退火设备 | 发明专利 | 授权 | CN202411351739.7 | 2024-09-25 | CN119920747B | 2025-11-14 | 顾昱、王玉玺、杨宏超、王晖、王坚 |
| 23 | 管路拆装工装 | 发明专利 | 授权 | CN202411028309.1 | 2024-07-29 | CN119927842B | 2025-12-19 | 杨超繁、贾社娜、张大海 |
| 24 | 一种组分分离装置、液体回收设备及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410867969.2 | 2024-06-28 | CN121222097A | 2025-12-30 | 魏雄飞、石宁、王文军、张晓燕、邓新平 |
| 25 | 电镀装置及电镀方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410865294.8 | 2024-06-28 | CN121228330A | 2025-12-30 | 吴勐、肖炎、杨宏超、贾照伟、王坚、王晖 |
| 26 | 基板处理方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410856154.4 | 2024-06-27 | CN121228332A | 2025-12-30 | 王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、刁建华、肖炎、吴勐 |
| 27 | 刷子组件和半导体清洗设备 | 发明专利 | 公布 | CN202410856136.6 | 2024-06-27 | CN121222715A | 2025-12-30 | 孙建、朱国辉、王晖 |
| 28 | 清洁系统及退火装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410854337.2 | 2024-06-27 | CN121222752A | 2025-12-30 | 刘林波、余齐兴、金一诺、司生辉、宋永灏、王玉玺 |
| 29 | 基板边缘刻蚀装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410854349.5 | 2024-06-27 | CN121237674A | 2025-12-30 | 顾争荣、初振明、王东东、张晓燕、贾福金、向阳 |
| 30 | 电镀装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410852582.X | 2024-06-27 | CN121228324A | 2025-12-30 | 花宇、杨宏超、金一诺、王坚、王晖 |
| 31 | 加热装置及基板处理设备 | 发明专利 | 公布 | CN202410852574.5 | 2024-06-27 | CN121237673A | 2025-12-30 | 王晖、贾社娜、苏政、路添竣、陶泽魏、季昆、邓新平 |
| 32 | 基板定位装置及基板定位方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410843707.2 | 2024-06-26 | CN121215586A | 2025-12-26 | 王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、杨小亚 |
| 33 | 化学气相沉积方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410844357.1 | 2024-06-26 | CN121204634A | 2025-12-26 | 孙旭海、刘满成 |
| 34 | 高温炉管的密封结构及密封方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410825152.9 | 2024-06-24 | CN119845044A | 2025-04-18 | 吕策、张大海、王晖、沈周燮 |
| 35 | 边缘刻蚀位置的控制方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410825019.3 | 2024-06-24 | CN121215519A | 2025-12-26 | 庞博、肖登、初振明、张晓燕、王晖 |
| 36 | 边缘清洗装置及边缘清洗方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410816709.2 | 2024-06-21 | CN120237044A | 2025-07-01 | 王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、杨小亚 |
| 37 | 用于方形基板的卡盘 | 发明专利 | 公布 | CN202410816350.9 | 2024-06-21 | CN121192043A | 2025-12-23 | 王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华 |
| 38 | 用于电镀设备的检测方法及检测系统 | 发明专利 | 公布 | CN202410782849.2 | 2024-06-17 | CN121155061A | 2025-12-19 | 石轶、左经之、任正博、王晖、金一诺 |
| 39 | 晶圆处理装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410782703.8 | 2024-06-17 | CN121171920A | 2025-12-19 | 戴明宇、贺斌、费红财、田连刚、朱志君、金京俊 |
| 40 | 立式炉管 | 发明专利 | 公布 | CN202410783591.8 | 2024-06-17 | CN121161259A | 2025-12-19 | 吕策、王晖、贾社娜、张大海 |
| 41 | 薄膜沉积装置及薄膜沉积方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410783053.9 | 2024-06-17 | CN121161269A | 2025-12-19 | 田连刚、王晖、贺斌、金京俊 |
| 42 | 一种用于基板夹具的密封件以及基板夹具 | 发明专利 | 公布 | CN202410775356.6 | 2024-06-14 | CN121137756A | 2025-12-16 | 陆陈华、杜阳、杨宏超、贾照伟、张静、王坚、王晖 |
| 43 | 旋转轴及基板保持装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410759087.4 | 2024-06-12 | CN121123106A | 2025-12-12 | 韩阳、黄天宇、王涛、王涛、邵留宝 |
| 44 | 基板热处理装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410758318.X | 2024-06-12 | CN121123057A | 2025-12-12 | 张剑松、王文军、王晖、李康植 |
| 45 | 射频功率调节装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410758312.2 | 2024-06-12 | CN121124833A | 2025-12-12 | 朱志君、王晖、金京俊 |
| 46 | 一种封装结构的清洗方法及清洗装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410687252.X | 2024-05-29 | CN121054512A | 2025-12-02 | 陆陈华、贾照伟、张静、王坚、王晖 |
| 47 | 一种封装结构的清洗装置及清洗方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410687295.8 | 2024-05-29 | CN121042286A | 2025-12-02 | 麻森朋、赵悦、贾照伟、杨宏超、陆陈华、王坚、王晖 |
| 48 | 进气系统及炉管设备 | 发明专利 | 公布 | CN202410685462.5 | 2024-05-29 | CN121046813A | 2025-12-02 | 李抒怀、周冬成、石家燕 |
| 49 | 一种晶圆预湿方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410684019.6 | 2024-05-29 | CN121054564A | 2025-12-02 | 李旻旭、代兰奎、王晖、金一诺、贾照伟 |
| 50 | 风机组件及排放设备 | 发明专利 | 公布 | CN202410683640.0 | 2024-05-29 | CN121047828A | 2025-12-02 | 党琪、贾社娜、仲召明、陆圣平、孔林雁、开佳伟 |
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