3月12日，截止午间收盘，半导体设备ETF基金（159327）跌1.08%，报1.287元，成交额618.91万元。半导体设备ETF基金（159327）重仓股方面，北方华创截止午盘跌0.81%，中微公司跌0.91%，沪硅产业跌2.39%，华海清科跌2.44%，南大光电跌0.75%，拓荆科技跌6.06%，长川科技跌0.92%，TCL科技跌0.85%，中科飞测跌3.23%，鼎龙股份跌0.91%。

半导体设备ETF基金（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为万家基金管理有限公司，基金经理为贺方舟，成立（2024-07-24）以来回报为30.17%，近一个月回报为7.14%。

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