11月21日，截止午间收盘，科创半导体设备ETF（588710）跌3.28%，报1.384元，成交额7381.56万元。科创半导体设备ETF（588710）重仓股方面，中微公司截止午盘跌4.68%，华海清科跌3.11%，拓荆科技跌4.61%，沪硅产业跌2.38%，安集科技跌3.88%，中科飞测涨0.11%，芯源微跌2.59%，盛美上海跌2.70%，华峰测控跌2.32%，天岳先进跌2.59%。

科创半导体设备ETF（588710）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为华泰柏瑞基金管理有限公司，基金经理为李沐阳，成立（2025-05-26）以来回报为42.80%，近一个月回报为1.64%。

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