3月5日，截止午间收盘，集成电路ETF（562820）跌0.56%，报1.778元，成交额1404.16万元。集成电路ETF（562820）重仓股方面，中芯国际截止午盘跌0.32%，海光信息跌0.03%，寒武纪涨2.11%，韦尔股份涨0.93%，澜起科技跌2.48%，兆易创新跌0.59%，长电科技跌0.48%，紫光国微涨1.28%，卓胜微跌1.16%，通富微电跌0.66%。

集成电路ETF（562820）业绩比较基准为中证全指集成电路指数收益率，管理人为嘉实基金管理有限公司，基金经理为田光远，成立（2024-04-12）以来回报为78.15%，近一个月回报为14.28%。

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