2025年3月20日，半导体设备材料ETF（159516.SZ）收跌1.31%，主力资金（单笔成交额100万元以上）净流出1914.76万元，居可比基金第一。

       与此同时，该基金最新成交量为7821.59万份，最新成交额跌破8400.00万元，当日主力资金净流出成交额占比达23.04%。

       半导体设备材料ETF（159516.SZ），场外联接(A类：019632；C类：019633）。