12月30日消息，国家知识产权局信息显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请一项名为“基于等离子活化水的NO”的专利。申请公布号为CN121222249A，申请号为CN202511785801.8，申请公布日期为2025年12月30日，申请日期为2025年12月1日，发明人于贺杰、曹小康、张坤、席涛涛、蔡传涛、宁腾飞，专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司，专利代理师陶晓晓，分类号B01D53/78、B01D53/56、B01D53/34。
专利摘要显示，本发明提供一种基于等离子活化水的NOx处理系统和方法，涉及工业废气处理技术领域。其中，通过获取含有氮氧化物NOx的废气；使用含有氧化剂的等离子活化水，喷淋含有NOx的废气，以吸收NOx，在等离子活化水中，氧化剂和NOx发生氧化还原反应，反应产物包括溶于水的硝酸根离子。本发明通过含有氧化剂的等离子活化水喷淋含有NOx的废气，有效去除了NOx。同时，本发明的活化反应模块可集成于工业废气处理模块内部，实现了NOx的去除的占地成本的零增加。本发明可将等离子活化水装置集成至半导体等离子废气处理系统，在半导体废气高效处理的同时实现零试剂添加、零废水排放、零占地成本增加的脱硝目标。
京仪装备于2016年6月30日成立，2023年11月29日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为北京市。该公司是国内半导体专用设备领域的重要企业，主营温控、废气处理等设备，拥有较强技术实力。
京仪装备所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，涉及半导体设备、北京国资、中芯国际概念等概念板块。公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，主营产品有半导体专用温控设备(Chiller)、半导体专用工艺废气处理设备(Local Scrubber)和晶圆传片设备(Sorter)。
2025年三季度，京仪装备实现营业收入11.03亿元，在行业23家公司中排名第12，与第一名北方华创的273.01亿元、第二名中微公司的80.63亿元有较大差距，行业平均数为30.84亿元，中位数为11.03亿元；净利润为1.29亿元，同样排名第12，第一名北方华创为49.8亿元，第二名盛美上海为12.66亿元，行业平均数为5.04亿元，中位数为1.29亿元。
北京京仪自动化装备技术股份有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 基于等离子活化水的NO | 发明专利 | 公布 | CN202511785801.8 | 2025-12-01 | CN121222249A | 2025-12-30 | 于贺杰、曹小康、张坤、席涛涛、蔡传涛、宁腾飞 |
| 2 | 半导体工业废气处理方法及系统 | 发明专利 | 公布 | CN202511785798.X | 2025-12-01 | CN121222235A | 2025-12-30 | 于贺杰、曹小康、张坤、席涛涛、蔡传涛、宁腾飞、杨琪 |
| 3 | 一种晶圆储料器 | 发明专利 | 公布 | CN202511705951.3 | 2025-11-20 | CN121171945A | 2025-12-19 | 吕忠伟、孙敬雷 |
| 4 | 一种快速控温方法、温控系统、电子设备及存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511657775.0 | 2025-11-12 | CN121143540A | 2025-12-16 | 芮守祯、于浩、孙硕、李卓昆、董春辉、曹小康、何茂栋 |
| 5 | 一种用于半导体温控设备的EtherCAT从站网关 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511641334.1 | 2025-11-11 | CN121098666A | 2025-12-09 | 徐鑫伟、陈富强、丁金龙、陈杰 |
| 6 | 温控系统及温控方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511350221.6 | 2025-09-19 | CN121115926A | 2025-12-12 | 郑璐、靳李富、孙硕、胡文达、刘紫阳、芮守祯、董春辉、何茂栋、曹小康 |
| 7 | 半导体温控装置和半导体温控装置的控制方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511348069.8 | 2025-09-19 | CN121143524A | 2025-12-16 | 郑璐 |
| 8 | 温控系统及温控方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511350225.4 | 2025-09-19 | CN121143525A | 2025-12-16 | 郑璐、董春辉、胡文达、靳李富、刘紫阳、芮守祯、何茂栋、曹小康 |
| 9 | 半导体温控装置和半导体温控装置的控制方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511348070.0 | 2025-09-19 | CN121165834A | 2025-12-19 | 郑璐 |
| 10 | 一种基于液氮控温的半导体温控装置及其控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511291304.2 | 2025-09-10 | CN121096845A | 2025-12-09 | 郑璐、顾晓虎、靳李富、胡文达、刘紫阳、芮守祯、曹小康、董春辉、何茂栋 |
| 11 | 一种基于半导体的温度控制方法、装置、电子设备及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511284131.1 | 2025-09-09 | CN121008621A | 2025-11-25 | 雍明 |
| 12 | 一种特气预混方法和装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511239632.8 | 2025-09-01 | CN121016535A | 2025-11-28 | 闫潇 |
| 13 | 一种夹持工装、焊接工装及辅助生产设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511229662.0 | 2025-08-29 | CN120791303A | 2025-10-17 | 杨震 |
| 14 | 温控系统和温控方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511228653.X | 2025-08-29 | CN120973123A | 2025-11-18 | 李文博、常鑫、冯涛、鲁元进、刘争、王中伟、王晓波、许海锋、刘洋、张涵、何茂栋、曹小康、芮守祯、董春辉 |
| 15 | 一种循环液温控系统及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511225769.8 | 2025-08-29 | CN120973122A | 2025-11-18 | 蒋培培 |
| 16 | 温控系统和温控方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511228662.9 | 2025-08-29 | CN121008629A | 2025-11-25 | 李文博、曹小康、于浩、常鑫、冯涛、鲁元进、刘争、王晓波、王中伟、许海锋、张涵、何茂栋、芮守祯、董春辉 |
| 17 | 一种基于半导体废气处理设备反应腔外壁及其降温方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511178018.5 | 2025-08-21 | CN120838114A | 2025-10-28 | 席涛涛、于贺杰、杨春涛、乔伟超、杨琪、杨春水、张坤 |
| 18 | 半导体废气处理设备的反应腔温度控制方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511178020.2 | 2025-08-21 | CN121089060A | 2025-12-09 | 席涛涛、杨春涛、乔伟超、杨琪、于贺杰、杨春水、张坤 |
| 19 | 半导体废气处理设备的热量回收控制方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511178021.7 | 2025-08-21 | CN121162913A | 2025-12-19 | 席涛涛、于贺杰、杨春涛、乔伟超、杨琪、杨春水、张坤 |
| 20 | 一种废气处理方法和系统 | 发明专利 | 公布 | CN202511042888.X | 2025-07-28 | CN120939721A | 2025-11-14 | 于贺杰、张坤、闫潇 |
| 21 | 晶圆校准器基准点校准方法、装置、设备及存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511027954.6 | 2025-07-24 | CN121112976A | 2025-12-12 | 吕维迪、廖博轩 |
| 22 | 晶圆偏移检测方法、装置、设备及存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511027955.0 | 2025-07-24 | CN121112967A | 2025-12-12 | 吕维迪 |
| 23 | 机械手取片方法及电子设备 | 发明专利 | 公布 | CN202510863330.1 | 2025-06-25 | CN120977940A | 2025-11-18 | 杨森元、张朝阳、侯君、何冰、邓博雅 |
| 24 | 一种晶圆传送装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510854310.8 | 2025-06-24 | CN120749066A | 2025-10-03 | 张朝阳、杨森元、郝瀚 |
| 25 | 一种低温制冷设备管路的疲劳等效试验方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510817425.X | 2025-06-18 | CN120558553A | 2025-08-29 | 宗国泰、李轩、李伟鹏、刘昭雲、程玉雪、张昱翀、高智雪、谷存帅 |
| 26 | 废气处理装置及处理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510796184.5 | 2025-06-13 | CN120550587A | 2025-08-29 | 张京华、曹小康 |
| 27 | 半导体废气处理设备的消除水箱细菌的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510712002.1 | 2025-05-29 | CN120535050A | 2025-08-26 | 杨春涛、曹小康 |
| 28 | 一种半导体温控模块TVOC减排系统及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202510695964.0 | 2025-05-28 | CN120221471B | 2025-08-29 | 于贺杰、曹小康、张坤、袁鹏华 |
| 29 | 一种半导体温控模块TVOC减排系统及方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510695964.0 | 2025-05-28 | CN120221471B | 2025-08-29 | 于贺杰、曹小康、张坤、袁鹏华 |
| 30 | 一种磁阻电机液体比例阀 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510675622.2 | 2025-05-23 | CN120212279A | 2025-06-27 | 陈杰、张少华、孙硕、丁金龙 |
| 31 | 一种可燃废气热量衡算方法、装置、电子设备及存储介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510668338.2 | 2025-05-23 | CN120198251B | 2025-08-08 | 于贺杰、曹小康、张昱翀、宁腾飞 |
| 32 | 反应器及半导体废气处理系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510651836.6 | 2025-05-20 | CN120789881A | 2025-10-17 | 乔伟超、席涛涛、张昱翀、宁腾飞 |
| 33 | 一种纯氧燃烧烧嘴装置以及废气处理设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510545767.0 | 2025-04-28 | CN120351508A | 2025-07-22 | 杨琪、乔伟超、杨春涛 |
| 34 | 一种管道加热系统、废气处理设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510516630.2 | 2025-04-23 | CN120194432A | 2025-06-24 | 王松 |
| 35 | 一种火焰侦测系统、半导体废气处理设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510515383.4 | 2025-04-23 | CN120431519A | 2025-08-05 | 王松 |
| 36 | 废气进气管道的温控装置及废气处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510503056.7 | 2025-04-21 | CN120444547A | 2025-08-08 | 闫潇 |
| 37 | 细菌清理设备及其控制方法、半导体废气处理系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510464409.7 | 2025-04-14 | CN120504351A | 2025-08-19 | 王松 |
| 38 | 一种循环液电阻率的控制方法及系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510110449.1 | 2025-01-23 | CN119920732A | 2025-05-02 | 张涵、贾正帅、于浩、冯涛、耿海东、顾晓虎、孙硕、何茂栋、芮守祯、曹小康、董春辉 |
| 39 | 一种针对半导体温控设备的循环液电阻率调整装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510110442.X | 2025-01-23 | CN119943718A | 2025-05-06 | 贾正帅、张涵、冯涛、鲁元进、顾晓虎、孙硕、何茂栋、芮守祯、曹小康、董春辉 |
| 40 | 一种废气处理设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510094295.1 | 2025-01-21 | CN119633574A | 2025-03-18 | 张昱翀 |
| 41 | 一种晶圆翻转机械手 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510011408.7 | 2025-01-03 | CN119626960A | 2025-03-14 | 郝瀚 |
| 42 | 一种末端执行装置、晶圆夹持机械手及晶圆传输装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510011407.2 | 2025-01-03 | CN119626959A | 2025-03-14 | 郝瀚 |
| 43 | 一种晶圆盒装载工位可移动的晶圆传输设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411993991.8 | 2024-12-31 | CN119764232A | 2025-04-04 | 吕维迪 |
| 44 | 一种晶圆搬运的方法、装置、电子设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411983935.6 | 2024-12-31 | CN119764231A | 2025-04-04 | 赵佳强、郝瀚、杨森元 |
| 45 | 过滤桶、半导体控温设备及换热控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411991158.X | 2024-12-31 | CN119819027A | 2025-04-15 | 何文明、于浩、李文博 |
| 46 | 一种轨迹规划方法、装置、电子设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411990657.7 | 2024-12-31 | CN119847063A | 2025-04-18 | 梁小影 |
| 47 | 一种晶圆缺口定位方法、装置、电子设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411990662.8 | 2024-12-31 | CN119905442A | 2025-04-29 | 王晓尉、吕维迪、杨森元、邓博雅 |
| 48 | 一种带预冷的自复叠半导体温控系统及其控制方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202411972740.1 | 2024-12-30 | CN119687586A | 2025-03-25 | 郑璐、胡文达、于浩、靳李富、刘紫阳、芮守祯、曹小康、何茂栋、董春辉 |
| 49 | 一种电加热与燃烧结合式的废气处理方法及设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411973250.3 | 2024-12-30 | CN119713291A | 2025-03-28 | 张昱翀 |
| 50 | 一种废气处理的热量动态平衡控制方法及系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411954635.5 | 2024-12-27 | CN119844779A | 2025-04-18 | 于贺杰、张坤、宁腾飞 |
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