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中芯国际:晶圆制造CVD等部分环节需使用臭氧

投资者提问:

公司在芯片生产过程中会用到臭氧水和臭氧吗?

董秘回答(中芯国际SH688981):

尊敬的投资者,您好!晶圆制造过程中,通常在CVD等工艺的部分环节需使用臭氧。感谢您的关注!

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