2月25日，半导体设备ETF（159516）开盘跌1.59%，报1.111元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创开盘跌1.49%，中微公司跌1.43%，沪硅产业跌100.00%，华海清科跌1.80%，南大光电跌1.21%，拓荆科技涨3.40%，长川科技跌1.30%，TCL科技跌0.61%，鼎龙股份跌1.91%，中科飞测跌2.05%。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为12.79%，近一个月回报为12.82%。

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