2月26日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）跌0.18%，报1.122元，成交额1.06亿元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创截止午盘涨0.68%，中微公司跌0.03%，沪硅产业涨0.00%，华海清科跌0.75%，南大光电跌0.86%，拓荆科技跌2.40%，长川科技跌0.71%，TCL科技跌1.44%，鼎龙股份涨0.00%，中科飞测跌4.97%。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为12.42%，近一个月回报为12.45%。

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